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stil三維表面輪廓測量儀

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更新時(shí)間:2023-01-11 12:54:41瀏覽次數(shù):418次

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產(chǎn)品簡介

借助光譜共焦傳感器非接觸式尺寸測量納米和微米分辨白光傳感器(無斑點(diǎn),大測量范圍)同軸測量(無陰影)鏡面上的高局部斜率(反射式)對環(huán)境光不敏感可測金屬,玻璃,半導(dǎo)體,陶瓷和其他更多材料透明物體的厚度測量方式具有大測量范圍能力(20μm-24mm)

詳細(xì)介紹

法國STIL三維表面輪廓測量儀

配置“點(diǎn)”傳感器的MICROMESURE2系統(tǒng)

MICROMESURE2系統(tǒng),配置CCS-Prima,STIL-DUO傳感器,是非接觸式表面測量的理想工具,包含3D粗糙度,形狀測量和3D微觀形貌。

MICROMESURE2系統(tǒng),重復(fù)利用了STIL非接觸式傳感器在各種應(yīng)用和領(lǐng)域的性能。

與配套的控制器&采集硬件和軟件一起交付,MICROMESURE2系統(tǒng)是一套整機(jī),啟動(dòng)后立刻執(zhí)行(指令)。

借助光譜共焦傳感器

  • 非接觸式尺寸測量
  • 納米和微米分辨
  • 白光傳感器(無斑點(diǎn),大測量范圍)
  • 同軸測量(無陰影)
  • 鏡面上的高局部斜率(反射式)
  • 對環(huán)境光不敏感
  • 可測金屬,玻璃,半導(dǎo)體,陶瓷和其他更多材料
  • 透明物體的厚度測量方式
  • 具有大測量范圍能力(20μm-24mm)

借助高質(zhì)量的掃描系統(tǒng)

  • Z軸0.1μm編碼器(系列產(chǎn)品)
  • X&YZ軸0.1μm編碼器(可選擇)
  • 低震動(dòng)
  • 正交性和平面度校正
  • 透明的作業(yè)空間,避免氣流震蕩

配置線傳感器的MICROMESURE2系統(tǒng)

2014年產(chǎn)品:配置了MPLS180線傳感器的MICROMESURE2

4個(gè)光學(xué)頭可選:Nano view,Micro View,Deepview,Wire view

專用軟件:Line SensorMap

 

MICROMESURE2系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)

STIL 3D輪廓測量儀
型號(hào)   MIME-3M1R-115 MIME-3M3R-115 MIME-3M3R-332
X-Y軸參數(shù) 行程 100mm 100mm 300mm
編碼器
位置精度 10μm/100mm 1μm/100mm 1μm/100mm
位置分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm
平面度 1μm/100mm 1μm/100mm TBA
速度 20mm/s 20mm/s 20mm/s
Z軸參數(shù) 行程 50mm 50mm 50mm
編碼器
位置精度 1μm/100mm 1μm/100mm 1μm/100mm
位置分辨率 0.1μm 0.1μm 0.1μm
平面度 1μm/100mm 1μm/100mm 1μm/100mm
速度 5mm/s 5mm/s 5mm/s
外形尺寸(L*D*H) 640*612*606(mm) 640*612*606(mm) TBA
重量(kg) 120 120 250

 

MICROMESURE2系統(tǒng)表面圖像處理及采集軟件

表面圖像控制&采集軟件
采集類型 輪廓掃描(X,Y,傾斜物)
表面掃描
點(diǎn)系列采集
重復(fù)測量
混合采集序列
視頻圖像(如配置攝像機(jī))
掃描參數(shù)設(shè)定 體積
沿每個(gè)軸步進(jìn)
傳感器參數(shù)設(shè)定 高度模式
厚度模式
光筆選擇
平均
雙倍頻率(如提供)
掃描類型 恒定速度(帶有間隙補(bǔ)償)
恒定速度(前&后)
逐步
Z following
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 文件夾選擇
格式選擇(binary,csv)
用戶監(jiān)督 測量進(jìn)程
XY和Z坐標(biāo)
傳感器狀態(tài)
自動(dòng)程序 硬件歸位
自動(dòng)對焦
重定位
檢查

應(yīng)用類型:

  • 形狀及紋理分析
  • 精密機(jī)械檢測
  • 表面特征分析
  • 3D高度和厚度,形貌/輪廓
  • 粗糙度測量
  • 尺寸測量

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 機(jī)械(粗糙度,摩擦力,3D計(jì)量,腐蝕分析......)
  • 玻璃行業(yè)(浮法玻璃在線厚度控制,3D計(jì)量......)
  • 微電子(粗糙度,3D計(jì)量,缺陷分析)
  • 光學(xué)(粗糙度,3D計(jì)量......)
  • 鐘表(平面度,粗糙度,厚度......)
  • 核燃料工業(yè)(粗糙度,摩擦度,3D計(jì)量,腐蝕分析......)
  • 航空航天(粗糙度,渦輪形狀)

選擇:

  • 后期處理軟件:來自法國圖像技術(shù)的MountainsMap
  • 用于實(shí)際3D測量的X&Y軸的線性編碼器(位置精度=1μm/100mm)
  • 錄影機(jī)
  • 用于更換光筆的簡單刀塔或雙刀塔
  • 減震支架
  • 1軸和2軸配置
  • X&Y軸行程可達(dá)300mm定制
  • Z軸行程可達(dá)100mm定制

計(jì)量工件

  • 校準(zhǔn)槽(深度為10μm)
  • 粗糙度標(biāo)準(zhǔn)(Ra=0.8μm)
  • 光學(xué)平面(直徑=140mm)
  • 位移光罩(用于設(shè)置錄影機(jī)偏移)

 

關(guān)鍵詞:輪廓測量儀 傳感器
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