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D07-7B型氣體質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2023-04-09 18:02:23瀏覽次數(shù)：223次

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上海淞涵精密設(shè)備科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制

詳細(xì)介紹

流量控制器（MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。

詳細(xì)參數(shù)

標(biāo)準(zhǔn):

氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：

標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）

標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa

輸入和輸出:

輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA

輸入設(shè)定電壓…………0～+5.00V

輸出電壓檢測…………0～+5.00V

產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

滿量程流量范圍（N₂）	5SCCM～10SLM/MIN
控制范圍	2～100％F.S.
閥類型（及閥初始狀態(tài)）	電磁調(diào)節(jié)閥（常閉）
準(zhǔn)確度	±1.5％F.S.
線性	±0.5～1.5％F.S.
重復(fù)精度	±0.2％F.S.
響應(yīng)時間	≤7sec
工作溫度范圍	5～45℃
工作壓差	0.1～0.5MPa
耐壓	3MPa
漏氣率	1×10^-8atm.cc/sec He
通道濕材料	316L不銹鋼、密封材料
靜密封材料	氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠）
電連接器	D sub 9 pins male，D sub 15 pins male，DeviceNet^TMmale
動密封材料	氟橡膠（或丁晴橡膠、硅橡膠、聚四氟乙烯）
接頭選擇	VCR 1/4”
接頭選擇	Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量	1.1Kg