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MKS GM100A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品簡介

多氣體，多量程，金屬密封的50至100slm質(zhì)量流量控制器G系列GM100A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量（0至5VDC或4至20mA）或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I/O

詳細(xì)介紹

多氣體，多量程，金屬密封的50至100slm質(zhì)量流量控制器

G系列GM100A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量（0至5 VDC或4至20 mA）或RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數(shù)字控制電子器件利用的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生設(shè)定點(diǎn)精度的1％。

· 流速從50到100 slm

· 金屬密封，帶彈性塞

· 多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％

· 少于750毫秒的建立時(shí)間

技術(shù)指標(biāo)

控制范圍	滿量程的2％至100％	進(jìn)氣壓力系數(shù)	<讀數(shù)的0.02％/ psi
滿量程流量范圍	50,000-100,000 sccm（相當(dāng)于N2）	典型建立時(shí)間	<750毫秒，典型值在滿量程的10％以上
流量輸入輸出信號	電壓：（0至5 VDC）15針D型公頭，9針D型公頭，電流：4到20 mA 15針D型公頭	熱身時(shí)間	30分鐘
入口壓力	150磅/平方英寸	工作溫度	10°至50°C
正常工作壓力差	50,000-100,000 sccm; 40至80 psid	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結(jié)
耐壓	1000磅/平方英寸	貯存溫度	-20°至80°C
爆破壓力	1500磅/平方英寸	外部泄漏完整性	<1 x 10-10（scc / sec He）
典型精度	20至100％滿量程時(shí)為設(shè)定值的±1％，2至20％滿量程時(shí)為額定值的±0.2％	封閉閥的泄漏完整性	在大氣壓力為40 psig時(shí)<滿量程的1.0％
重復(fù)性	讀數(shù)的±0.3％	濕材料	316L不銹鋼VAR，316不銹鋼，Elgiloy®，鎳
解析度	滿量程的0.1％	表面處理	平均Ra 10µ英寸
零溫度系數(shù)	<滿量程的0.05％/°C	重量	3磅（1.4公斤）
跨度溫度系數(shù)	<0.08％的讀數(shù)/°C	合規(guī)	CE認(rèn)證

特征

多種數(shù)字和模擬接口選擇

GM100A數(shù)字控制MFC帶有模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。GM100A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM100A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積

GM100A利用質(zhì)量流量控制器使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積，流量范圍為5sccm至50 slm，而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置，現(xiàn)在可在100 slm（N2當(dāng)量）的流量下運(yùn)行。

金屬密封

GM100A金屬密封MFC具有10 µ英寸電拋光316L表面光潔度，使該質(zhì)量流量控制器可用于高純度應(yīng)用。

設(shè)定值精度的百分比

附帶的數(shù)字校準(zhǔn)可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準(zhǔn)氣體提供1％的設(shè)定點(diǎn)精度。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制，相對于相對于滿量程的精度。當(dāng)質(zhì)量流量為滿刻度的2至20％時(shí)，精度為滿刻度的±0.2％。