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JSM-6510LA 掃描電子顯微鏡

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更新時(shí)間:2023-11-25 09:16:49瀏覽次數(shù):199次

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產(chǎn)品簡介

JSM-6510LA 掃描電子顯微鏡

詳細(xì)介紹

  • 產(chǎn)品名稱:JSM-6510LA 掃描電子顯微鏡
  • 日本電子
  • JSM-6510
  • 掃描電子顯微鏡
  • 測試檢查儀器
  • 帶EDS能譜儀
  • 0

日本電子JOEL JSM-6510掃描電子顯微鏡


是一款高性能低價(jià)格的掃描電子顯微鏡(簡稱電鏡),分辨率可達(dá)3.0nm.可按用戶要求定做的操作接口便于用戶直觀操作儀器。SmileShot軟件保證得到電子光學(xué)參數(shù)。


JSM-6510的LGS型大樣品臺和GS型普通樣品臺可分別裝6英寸直徑和32mm直徑的樣品。


與日本電子公司的元素分析儀(EDS),統(tǒng)合于一體。結(jié)構(gòu)緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制,操作員只用一只鼠標(biāo),就可完成從圖像觀測到元素分析的整個(gè)過程。


適合于多種測量功能。可在觀察圖像上直接進(jìn)行測量。也可將測量結(jié)果貼至SEM圖像,保存在文件中。



JSM-6510掃描電子顯微鏡 主要特點(diǎn)


強(qiáng)大的電子光學(xué)系統(tǒng),簡單操作。

設(shè)計(jì)的超級圓錐型物鏡,保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。

廣域掃描線圈可以得到zui低5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。

優(yōu)秀的電子光學(xué)系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑,有利于微區(qū)分析。

JSM6510系列超級圓錐形物鏡,在工作距離8mm時(shí)的分辨率為3nm,超級圓錐形物。

外形設(shè)計(jì)可以做到短工作距離情況下,樣品仍然可以大角度傾斜。

JEOL開發(fā)的全自動電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源,只要選擇好加速電壓,就可以進(jìn)行觀察或成分分析。

電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變化隨時(shí)調(diào)整偏壓,使得無論選擇哪個(gè)加速電壓,都能得到亮度。

JEOL的像散記憶功能能夠自動糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。


JSM-6510LA 電子顯微鏡強(qiáng)大的功能





多圖顯示模式

主顯示區(qū)可以同時(shí)顯示兩幅實(shí)時(shí)圖像,分別為二次電子像和背散射電子像,參考區(qū)也可顯示2幅實(shí)時(shí)圖像,例如二次電子圖像,背散射電子圖像或CCD相機(jī)圖像。

雙實(shí)時(shí)顯示模式可以用于不同信號圖像的對比,用戶可在觀察表面形貌的同時(shí)了解樣品的成份分布情況。

選用多種圖像顯示模式時(shí),點(diǎn)擊“PHOTO"按紐可同時(shí)獲得并存儲2或3幅全屏尺度圖像。


簡單易懂的操作接口及菜單

操作接口簡單,直觀,默認(rèn)的操作接口顯示了的功能按鈕,并以簡單圖文標(biāo)明,點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作所有功能。

實(shí)時(shí)量測,圖片上的長度和角度等結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)能在顯示器上進(jìn)行測量。



可變焦聚光鏡修正

做表面觀察和元素分析等不同應(yīng)用時(shí),選擇合適束流非常重要,一般是通過聚光鏡與物鏡光闌來控制電子束流的。

如果在調(diào)整束流過程中,焦點(diǎn)和觀察區(qū)域位移變化很小,調(diào)整起來會比較方便。JEOL的可變焦聚光鏡可以保證這一點(diǎn)。



全對中樣品臺

當(dāng)樣品臺傾斜時(shí),全對中樣品臺可使圖像位移和焦點(diǎn)變化最小。

使用此樣品臺可多方向觀察粗糙表面樣品,采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片,可通過立體圖片觀察深度。



低真空SEM

低真空掃描電鏡,除了包括高真空模式外,還包括低真空模式,在低真空模式下,不導(dǎo)電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。

結(jié)合JEOL的冷凍干燥技術(shù),可在低真空模式下快速觀察含水樣品。


保證分辨率3.0nm(30kV)
8.0nm(3kV)
15nm(1kV)
放大倍數(shù)5至300,000x
加速電壓0.5kV至30kV
電子槍工廠預(yù)對中燈絲
聚光鏡變焦聚光鏡
物鏡錐形物鏡
樣品臺全對中樣品臺
X-Y80mm-40mm
Z5mm至48mm
旋轉(zhuǎn)360°
傾斜-10°至+90°
排氣系統(tǒng)
(高真空模式)
DPx1,RPx1
排氣系統(tǒng)
(低真空模式)
DPx1,RPx2


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