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蔡司Smartproof 5 共聚焦顯微鏡

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產品簡介

產品描述Smartproof5快速轉盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學為基本原理,采用的高速轉盤掃描技術為成像方法,將高分辨率與速度結合在一起,是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓,并可實現非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器

詳細介紹

蔡司Smartproof 5 共聚焦顯微鏡.jpg

產品描述

Smartproof 5快速轉盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學為基本原理,采用的高速轉盤掃描技術為成像方法,將高分辨率與速度結合在一起,是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓,并可實現非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器。

Smartproof 5擁有業(yè)內的高分辨率和高速度共聚焦系統,的轉盤共聚焦技術有效地減少獲取分析結果的時間。集成和穩(wěn)固設計確保無附加防振設備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用,的操作者模式適合工業(yè)生產的批量檢測任務,能夠極大地提高檢測效率。蔡司以她的光學技術和基于用戶的設計理念,再次向世界證明了光學的地位。

產品特點

l高分辨

由于采用了共聚焦成像原理,Smartproof 5將傳統光學分辨率提高1.4倍,其XY方向線分辨率達到120 nm。

l高測量精度

同時,在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上,Smartproof 5配備了精度高、重復性好的Z軸自動步進裝置,最小步進精度達到1nm,這使得高度上亞微米,甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。

l高速掃描

傳統共聚焦采用點掃描成像,速度較慢;而Smartproof 5采用轉盤掃描,成像速度大大提高,的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率),可以說瞬間即可得到測量結果,大大提高工作效率。

l真實色彩還原

還可使用三色LED光源,能夠展現被測試樣表面的真實顏色,從而將傳統黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領域。

技術參數:

1. 波長:405nm

2. 分辨率:120nm

3. Z軸最小步進精度:1nm

4. 成像速度:常規(guī)共聚焦的2-3倍

5. 物鏡:2.5x-100x 

6. 高度掃描范圍:高達5mm

7. 載物臺:150mm×150mm超大行程

8. 控制系統:Smartproof 5應用軟件

9. 圖像處理和數據測量:

2D:距離,高度,角度,構造元素,基于ISO 4287的輪廓粗糙度

3D:水平距離,3D距離,高度,角度,構造點,面積,體積,基于ISO 25178的面粗糙度

其他:水平調整,形狀去除,濾波,去噪,報告

應用

1. 汽車制造:研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量

2. 航空航天工業(yè):評價橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析

3. 科研:植入器官的表面測量

4. 微光學/機械制造:敏感精密光學部件的表面測量、精密機械部件的精密幾何測量

5. 電子:導線的幾何量測量(寬度,厚度等)、焊接結點的質量過程控制

6. 造紙:紙張以及印刷品的表面測量

應用圖例:

1.jpg

激光刻蝕表面,帶表面紋理圖層的3D 彩色編碼高度圖

2.jpg

衍射光學器件,彩色編碼高度圖

3.jpg

研磨鋁表面,帶表面紋理圖層的3D顯示圖

4.jpg

5.jpg

臺階高度標樣測試(標準高度1.777±0.011mm,NIST認證),實測臺階高度1.772mm。

上圖:三維偽彩圖;下圖:二維輪廓線圖。

6.jpg

7.jpg

粗糙度標樣測試結果。標準粗糙度Ra = 2.97mm,實測Ra=2.962mm。

20x物鏡,4x1三維拼接,cut-off值取1/5取樣長度。

 


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