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M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)

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更新時間:2024-02-02 14:42:46瀏覽次數(shù):133次

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產(chǎn)品簡介

M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)昊量光電推出M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng),可以快速精準(zhǔn)的對濺射系統(tǒng)磁控管和磁棒的測量質(zhì)量精準(zhǔn)控制

詳細(xì)介紹

M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)



昊量光電推出M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng),可以快速精準(zhǔn)的對濺射系統(tǒng)磁控管磁棒的測量質(zhì)量精準(zhǔn)控制。旋轉(zhuǎn)磁控管和可調(diào)磁棒可以在浮法玻璃鍍膜的濺射過程中進(jìn)行精確測量和分析及可靠地識別有缺陷的磁控管和磁棒??梢蕴岣邔雍竦木鶆蛐圆⑶铱梢员苊鉃R射。


M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)主要介紹

玻璃或硅上濺射需要高質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。即使沉積層厚度的微小波動也會顯著影響層的特性。用于窗戶和立面結(jié)構(gòu)的浮法玻璃在顏色和透射特性方面可能會發(fā)生某些變化。作為太陽能電池生產(chǎn)基礎(chǔ)的玻璃涂層厚度的變化會導(dǎo)致電性能的不對稱。

濺射氣體的分壓或磁場可以改變層的特性。由于氣體成分的變化同樣會影響層的成分,因此對于層厚度的調(diào)整,僅可以應(yīng)用磁場的控制和修改。

M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)以高精度表征管狀磁控管,使操作員能夠控制濺射裝置中的磁性元件。除了對磁體配置進(jìn)行精確測量和分析外,M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)還為可調(diào)節(jié)磁控管提供幫助,為確保高可靠性,確定了磁控管的幾何形狀()。



使用M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)可以增加

  • 過程可靠性,因為可以對新磁控管進(jìn)行進(jìn)貨檢驗,并且可以更早、更可靠地檢測到有缺陷的磁控管。

  • 層厚度的均勻性,因為可以以可控方式設(shè)置可調(diào)磁控管,或者可以更容易地組合合適的磁控管。

  • 靶材的使用壽命,因為可以避免成本密集型靶材的濺射。


M-cat磁場均勻性檢測系統(tǒng)突出亮點:

  • 獲取完整的磁場輪廓

  • 可提供用于圓形陰極和扁平陰極磁控管的系統(tǒng)

  • 可以在現(xiàn)有的制造過程中實施該系統(tǒng)

  • 可微調(diào)磁控管微調(diào)輔助功能

  • 高可用性




MHLS-線性霍爾傳感器主要技術(shù)指標(biāo):

  • 在 1 分鐘內(nèi)完成測量

  • 場過程的圖形表示

  • 檢測蕞小和蕞大磁場強(qiáng)度

  • 以 CSV 格式存儲和導(dǎo)出單個測量系列的功能

  • 可以記錄目標(biāo)參數(shù)(直徑、偏轉(zhuǎn))

  • 微調(diào)可微調(diào)磁控管的輔助功能

  •  長度為 0.4 - 4.0m

  •  磁場配置:33 個通道(X、Y、Z)+/- 1%

  • 磁控管的幾何形狀(磁性功能部件的位置):+/- 0.1mm

  • 目標(biāo)的幾何形狀(直徑、偏轉(zhuǎn)):+/- 0.1mm

  •  具有生命周期管理、各種視圖和設(shè)置選項的軟件




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關(guān)于昊量光電:

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