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DLP/DMD光刻照明光源

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DLP/光刻照明光源昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應(yīng)用提供的速度和分辨率

詳細(xì)介紹

DLP/光刻照明光源

昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應(yīng)用提供的速度和分辨率。模塊化設(shè)備結(jié)合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學(xué)設(shè)備，集成了遠(yuǎn)心成像光學(xué)優(yōu)化DLP芯片組。

這款DMD光刻光源為基于DLP技術(shù)的具有挑戰(zhàn)性的曝光應(yīng)用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強(qiáng)度和多波長(zhǎng)光譜的設(shè)置非常適合。數(shù)值孔徑為0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均勻性、這些構(gòu)成DLP-芯片曝光的解決方案。

DLP/DMD照明器提供高達(dá)30W的光輻射功率。單波長(zhǎng)和多波長(zhǎng)設(shè)置可供選擇（365nm、385nm、395nm、405nm）。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當(dāng)、但具有LED技術(shù)的壽命和總成本優(yōu)勢(shì)。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管（例如、LD405nm）的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設(shè)計(jì)的、可以輕松集成到基于DMD的系統(tǒng)中。

DLP/DMD光刻照明光源產(chǎn)品亮點(diǎn)：

專為DLP®9000和DLP®9500設(shè)計(jì)
包括高性能LED驅(qū)動(dòng)器、便于控制和編程
高強(qiáng)度性能能夠縮短/減少處理時(shí)間
由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑
不會(huì)過時(shí)的無(wú)汞光源

DLP/DMD光刻照明光源產(chǎn)品規(guī)格：

輻射輸出功率	DLP9500蕞高30W DLP7000蕞高20W
波長(zhǎng)配置	365nm、385nm、395nm、405nm Single and multi-wavelength setups available
光出口角	±12° 匹配DLP微鏡傾斜角度
照明均勻性和DMD芯片溢位	>90%均勻性 >10%溢位
熱管理	液體冷卻設(shè)置快速連接、無(wú)泄漏耦合所需入口溫度≤25℃ 25°
使用壽命	>3000h 模塊化、易于更換系統(tǒng)、蕞大限度減少停機(jī)時(shí)間
LED-驅(qū)動(dòng)器	每個(gè)通道0-3A、每個(gè)LED陣列18個(gè)通道恒流、可調(diào)光、脈寬調(diào)制
外部接口	USB 2.0 10/100Mbps以太網(wǎng) RS-232 (TIA-232-F)
程序	串行（USB）和遠(yuǎn)程登錄（以太網(wǎng)）通信命令集
尺寸和重量	照明器：27.5cm×8cm×8.5cm 驅(qū)動(dòng)器：23cm×29cm×4.5cm
重量	照明器：~1.5kg 驅(qū)動(dòng)器：~2kg

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