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行業(yè)產(chǎn)品

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上海昊量光電設(shè)備有限公司


DLP/DMD光刻照明光源

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更新時間：2024-02-06 15:01:37瀏覽次數(shù)：178次

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產(chǎn)品簡介

DLP/光刻照明光源昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應(yīng)用提供的速度和分辨率

詳細(xì)介紹

DLP/光刻照明光源



昊量光電新推出LumiDLP光刻照明光源通過大面積提供高度均勻的通量密度為紫外DLP應(yīng)用提供的速度和分辨率。模塊化設(shè)備結(jié)合了密集封裝的UV-LED陣列成為一種高效、非成像采集光學(xué)設(shè)備，集成了遠(yuǎn)心成像光學(xué)優(yōu)化DLP芯片組。

這款DMD光刻光源為基于DLP技術(shù)的具有挑戰(zhàn)性的曝光應(yīng)用提供出色的UV-LED照明。特別是要求蕞高強(qiáng)度和多波長光譜的設(shè)置非常適合。數(shù)值孔徑為0.2（光束角度±12°）和非常高的照明均勻性、這些構(gòu)成DLP-芯片曝光的解決方案。

DLP/DMD照明器提供高達(dá)30W的光輻射功率。單波長和多波長設(shè)置可供選擇（365nm、385nm、395nm、405nm）。這款DLP/DMD光刻照明光源提供的輻射功率與汞放電燈相當(dāng)、但具有LED技術(shù)的壽命和總成本優(yōu)勢。此外、DLP/DMD光刻照明光源還可以很好地替代基于單色激光二極管（例如、LD405nm）的照明器。

LumiDLP光刻照明光源是專為DLP9000和DLP9500芯片設(shè)計的、可以輕松集成到基于DMD的系統(tǒng)中。


DLP/DMD光刻照明光源產(chǎn)品亮點：

  • 專為DLP®9000和DLP®9500設(shè)計

  • 包括高性能LED驅(qū)動器、便于控制和編程

  • 高強(qiáng)度性能能夠縮短/減少處理時間

  • 由于頻譜寬廣、可以使用多種類型的抗蝕劑

  • 不會過時的無汞光源



DLP/DMD光刻照明光源產(chǎn)品規(guī)格：

輻射輸出功率

  • DLP9500蕞高30W

  • DLP7000蕞高20W

波長配置

  • 365nm、385nm、395nm、405nm

  • Single and multi-wavelength setups available

光出口角

  • ±12°

  • 匹配DLP微鏡傾斜角度

照明均勻性和DMD芯片溢位

  • >90%均勻性

  • >10%溢位

熱管理

  • 液體冷卻設(shè)置

  • 快速連接、無泄漏耦合

  • 所需入口溫度≤25℃ 25°

使用壽命

  • >3000h

  • 模塊化、易于更換系統(tǒng)、蕞大限度減少停機(jī)時間

LED-驅(qū)動器

  • 每個通道0-3A、每個LED陣列18個通道

  • 恒流、可調(diào)光、脈寬調(diào)制

外部接口

  • USB 2.0

  • 10/100Mbps以太網(wǎng)

  • RS-232 (TIA-232-F)

程序串行（USB）和遠(yuǎn)程登錄（以太網(wǎng)）通信命令集
尺寸和重量

  • 照明器：27.5cm×8cm×8.5cm

  • 驅(qū)動器：23cm×29cm×4.5cm

重量

  • 照明器：~1.5kg

  • 驅(qū)動器：~2kg


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關(guān)于昊量光電：

上海昊量光電設(shè)備有限公司是光電產(chǎn)品專業(yè)代理商，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測量設(shè)備、光學(xué)元件等，涉及應(yīng)用涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究、國防、、生物顯微、物聯(lián)傳感、激光制造等；可為客戶提供完整的設(shè)備安裝，培訓(xùn)，硬件開發(fā)，軟件開發(fā)，系統(tǒng)集成等服務(wù)。

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關(guān)鍵詞：芯片
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