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離子濺射儀

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產(chǎn)品型號(hào)

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更新時(shí)間:2022-10-19 15:56:57瀏覽次數(shù):318次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

離子濺射儀

詳細(xì)介紹


設(shè)備簡(jiǎn)介:

NBD-LJ13離子濺射儀為掃描電鏡制作樣品而設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作使用直觀方便等特點(diǎn)。不需要很高的真空度就可以對(duì)掃描電鏡樣品進(jìn)行離子濺射,可作為掃描電鏡樣品鍍膜的基本設(shè)備。

配置詳情

產(chǎn)品型號(hào):NBD-LJ13

主要特點(diǎn)

1.采用4C真空泵,各方面降噪,提升實(shí)驗(yàn)感受;

2.標(biāo)配樣品室真空表和濺射電流表,實(shí)時(shí)顯示和監(jiān)控儀器狀態(tài);

3.邊緣橡膠密封圈,長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現(xiàn)象。

4.配置濺射電流控制器和微型真空氣閥。結(jié)合自動(dòng)控制電路,輕松控制真空室壓強(qiáng)、電離電流,并可任意選擇所需電離氣體,以獲得很好的鍍膜效果;

5.標(biāo)配Φ58mm x 0.12mm 大尺寸純金靶,濺射范圍更大;

控制面板:

真空表:真空度的計(jì)量單位mmHg或Pa相對(duì)應(yīng)的刻在表盤上,可方便的讀出工作室內(nèi)的真空度。

電流表:顯示濺射電流值單位(mA)。

微調(diào)閥(充氣閥):用于向工作室內(nèi)進(jìn)行充氣,

試驗(yàn)按鈕:配合針閥設(shè)置,以便獲得滿意的濺射電流值(小于10mA)。

濺射按鈕:當(dāng)“實(shí)驗(yàn)"按鈕電流小于10mA時(shí),可以按“濺射"按鈕,對(duì)樣品進(jìn)行離子濺射。

時(shí)間設(shè)定開(kāi)關(guān):控制離子濺射時(shí)間,定時(shí)開(kāi)關(guān)10~110S.

電源開(kāi)關(guān):控制儀器機(jī)箱電源及機(jī)械泵的通斷。

高純石英真空腔體Φ130(內(nèi)118)*130mm

樣品臺(tái)尺寸:Φ42mm

樣品臺(tái)可調(diào)高度:75mm

電氣規(guī)格

AC220V 120W

腔體尺寸

Φ130(內(nèi)118)*130mm

樣品臺(tái)尺寸

Φ42mm

樣品臺(tái)可調(diào)高度

樣品臺(tái)可調(diào)高度:75mm

樣品溫度

<35~50

適用靶材

貴金屬AU、Pt、Pd合金AU-Pt、AU-Pb 常規(guī)金屬Cu、W、Ag 、Cr 等

濺射速度

一般來(lái)說(shuō),用于掃描樣品時(shí)金屬的厚度為100-300?,采用經(jīng)驗(yàn)法測(cè)定厚度,可由下面的公式得到

d = KIVT

其中: d:是鍍膜厚度(單位?)

K:是常數(shù),取決于濺射金屬和所充氣體(采用金靶和氬氣時(shí)K為0.17,金靶和空氣K為0.07),此時(shí)靶與樣品之間的距離

I: 是等離子流(單位mA)

V:是所施電壓(單位kv)

T“"是時(shí)間(單位s)。

例如采用金靶和氬氣,l為8mA,T為100秒,V為1KV

則, d = KIVT = 0. 17×8×l×100 = 136?

即每秒1.36?

濺射速度依賴于濺射系統(tǒng)本身的清潔程度,因此保護(hù)工作室的清潔十分重要。

其它金屬靶的濺射速度,例如鉑靶大約是金靶一半的速度,金一鉑靶則具有與金靶非常接近的濺射速度。

設(shè)備使用注意事項(xiàng)

1.靶材的更換

先拔下濺射蓋板上高壓和地線插頭,拿下濺射蓋板,松開(kāi)三只頂絲,拿下保護(hù)板,然后擰下壓環(huán)就可以更換新靶。

2.真空工作室清洗

腔體工作室用無(wú)水乙醇、丙酮清洗,以保證系統(tǒng)能正常工作。

3、針閥使用

針閥關(guān)閉后再反向擰兩圈,以防止針閥長(zhǎng)時(shí)間不用出現(xiàn)閥針回彈不靈活的現(xiàn)象。如遇到打開(kāi)針閥時(shí)不向工作室放氣,請(qǐng)將針閥鈕擰到底后再重新打開(kāi)即可。

標(biāo)配

1.NBD-4C真空泵; 2 金靶1只:Φ58*0.12 3.說(shuō)明書一份.(可選配分子泵)

服務(wù)支持

一年保修,提供終身服務(wù);

凈重

25KG


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