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白光干涉儀ZeGage 3D 光學(xué)輪廓儀

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產(chǎn)品型號(hào)ZeGage

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更新時(shí)間：2022-11-27 16:52:50瀏覽次數(shù)：485次

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產(chǎn)品簡介

ZeGage系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強(qiáng)大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強(qiáng)大的分析軟件可以精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。

詳細(xì)介紹

系統(tǒng)參數(shù)：

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調(diào)節(jié)

◆物鏡: 無限共軛干涉物鏡：標(biāo)準(zhǔn)工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；長工作距離：1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數(shù)表

◆視場: 跟所選物鏡有關(guān)

◆光源: 長壽命白光 LED，計(jì)算機(jī)控制光強(qiáng)

◆物鏡座: 螺紋物鏡座（標(biāo)準(zhǔn)）；

◆選件: 可快速裝卸單物鏡夾具（可選）；電控或手動(dòng) 4 位物鏡塔臺(tái)（可選）。

◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

◆測量陣列: 1024×1024

◆樣件觀察: 軟件集成交互式實(shí)時(shí)觀察

◆Z 軸: 100mm 行程，主機(jī)頭具有兩種可選安裝高度，以優(yōu)化工作距離

◆樣品臺(tái)控制: USB 控制器，人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的拇指控制按鈕，可控制速度和聚焦模式切換

◆安全性: 系統(tǒng)集成緊急制動(dòng)功能

◆樣品臺(tái): 手動(dòng),俯仰傾斜±4°; 手動(dòng)XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

◆計(jì)算機(jī): 高性能DELL計(jì)算機(jī), 寬屏1080P LCD，64位，Windows 7系統(tǒng)

◆軟件: ZeMapsTM

◆尺寸（HWD）: 系統(tǒng)：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主機(jī)：82x53x53cm

◆重量: ZeGage 主機(jī)：54Kg; 工作臺(tái)：37Kg

性能：

◆縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)

◆表面形貌重復(fù)性：＜3nm（根據(jù) ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）

◆光學(xué)分辨率（橫向）：0.52um ～9.50um，與所選物鏡有關(guān)

◆掃描速度： ≤ 23 um/秒

◆數(shù)據(jù)點(diǎn)： 1,048,576

◆臺(tái)階測量：準(zhǔn)確度 ≤ 1%；重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ

被測樣品特性：

◆材料：各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射

◆反射率：1-99%

環(huán)境要求：

◆溫度： 15-30℃

◆溫度變化率：＜1.0°C/15分鐘

◆濕度：相對(duì)濕度 5%-95%，無凝結(jié)

◆隔振：不需要

◆振動(dòng)準(zhǔn)則： VC-C 或有更好的推薦

關(guān)鍵詞：工作臺(tái)

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