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光學(xué)輪廓儀ZETA Zeta-300

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

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更新時(shí)間:2023-01-20 08:40:09瀏覽次數(shù):365次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀基礎(chǔ)信息型號(hào):Zeta-300產(chǎn)品:光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)品牌:Zeta澤塔簡(jiǎn)介:的3D成像及測(cè)試系統(tǒng)(為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備

詳細(xì)介紹

澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀基礎(chǔ)信息

  型號(hào):Zeta-300

  產(chǎn)品:光學(xué)輪廓儀/表面輪廓測(cè)試系統(tǒng)

  品牌:Zeta澤塔

  簡(jiǎn)介:的3D成像及測(cè)試系統(tǒng)(為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備,是表面量測(cè)領(lǐng)域的)

澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀簡(jiǎn)述

  最的3D成像及測(cè)試系統(tǒng)(為用戶量身打造的表面輪廓測(cè)量設(shè)備,是表面量測(cè)領(lǐng)域的)Zeta3D光學(xué)輪廓儀可以對(duì)近乎所有材料和結(jié)構(gòu)的樣品進(jìn)行測(cè)試,從低反射率高粗糙度的太陽(yáng)能電池片到高精密拋光的磁盤介質(zhì),甚至包括高縱橫比結(jié)構(gòu)的微機(jī)械部件和多層結(jié)構(gòu)的微流體其器件。Zeta強(qiáng)大的研發(fā)能力還提供特種應(yīng)用的設(shè)備定制服務(wù),精密的光學(xué)測(cè)試系統(tǒng)和靈活自動(dòng)的測(cè)試軟件包讓用戶的測(cè)試工作變得更加靈活簡(jiǎn)單。

澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀特點(diǎn)

 多功能光學(xué)測(cè)試模組

  ·Zeta-300測(cè)試系統(tǒng)提供多種光學(xué)測(cè)試技術(shù),滿足用戶各種領(lǐng)域的測(cè)試需求:

  ·ZdotTMZ點(diǎn)陣3維成像技術(shù),是Zeta所有系列產(chǎn)品的標(biāo)配技術(shù)

  ·ZIC干涉反襯成像技術(shù),實(shí)現(xiàn)亞納米級(jí)粗糙度表面的成像及量化分析

  ·ZSI白光差分干涉技術(shù),搭配任意物鏡實(shí)現(xiàn)Z方向超高分辨率的測(cè)量能力

  ·Zx5白光干涉技術(shù)。保證Z方向高分辨率測(cè)量的同時(shí),提供大視野范圍內(nèi)的測(cè)量和統(tǒng)計(jì)分析

 測(cè)試速度快

  1分鐘內(nèi)完成所有類型樣品的3D掃描成像及統(tǒng)計(jì)分析,其超高的分辨能力甚至可以對(duì)納米級(jí)的缺陷進(jìn)行成像。

 操作簡(jiǎn)單

  自動(dòng)化測(cè)試程序,一鍵式操作過(guò)程,測(cè)試菜單設(shè)置簡(jiǎn)單,30分鐘培訓(xùn)速成,結(jié)果輸出直觀。

 功能強(qiáng)大

  支持Zeta所有的測(cè)試技術(shù),滿足用戶對(duì)不同樣品的測(cè)試需求,包括Zeta現(xiàn)有的光學(xué)輪廓測(cè)試技術(shù)、粗糙度和臺(tái)階高度測(cè)試技術(shù)等。 

 


澤塔Zeta-300光學(xué)輪廓儀技術(shù)規(guī)格

 Zeta-300產(chǎn)品尺寸(mm)

  系統(tǒng)(長(zhǎng)XX)510x725x773

  主機(jī):381x457x102

  顯示器:596x449x240

  總重量:145lbs/65kg

 Zeta-300操作規(guī)范

  電壓:100-230VAC

  電流:4A

  工作溫度:18-30oC,非冷凝,±1℃每小時(shí)

 Zeta-300性能配置 

  3D成像:~1/點(diǎn)(ZiC)~10/點(diǎn)(ZSi)~25/點(diǎn)(ZDot)

  像素分辨率:0.09μm(0.5x耦合鏡配合100x物鏡)

  最小Z軸步距:2nm(壓電陶瓷載臺(tái))13nm(Z軸精密絲杠傳動(dòng))

  Z軸分辨率:0.5(ZSi)

  13nm(Zdot)

  重復(fù)性37nm(1σ)

 Zeta-300系統(tǒng)配置 

  相機(jī)選項(xiàng):640x480,1024x768,1280x960

  總放大率:35,000x(光學(xué)和數(shù)字放大)

  系統(tǒng)光源:3個(gè)大功率白光LED

  自動(dòng)載臺(tái):150mmx150mm(XY方向)

  Z軸測(cè)試范圍:40mm


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