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低溫泵-無軸封電泵

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更新時間:2023-07-10 18:06:23瀏覽次數(shù):260次

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近年來,低溫泵得到了很大的應用,低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵

詳細介紹

近年來,低溫泵得到了很大的應用,低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱冷凝泵。低溫泵可以獲得抽氣速率大、壓力很低的清潔真空,廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。那么我們常用的類型有哪些呢:

1.小型制冷機低溫泵

閉循環(huán)小型制冷機低溫泵是由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機和壓縮機等部分組成。和流程低溫泵的很大區(qū)別是制冷機一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連,在制冷機與壓縮機連接管路中流動的是常溫、高(或低)壓氣體介質,不存在低溫介質的輸送問題,兼有流程低溫泵和貯槽式低溫泵的優(yōu)點,是目前比較理想的清潔很高真空泵。廣泛用于薄膜制備、微電子學技術、高能物理、小型環(huán)模設備以及其它各工業(yè)領域。

2.貯槽式低溫泵

低溫介質(液氦)直接注入泵內貯槽,使氣體冷凝達到抽氣目的。其優(yōu)點是泵的體積小、無振動、無噪聲、操作簡便,適用于大專院校及科研單位和高能加速器等大型真空工程。缺點是運轉費用高,每次加注低溫介質的使用時間短,需長期連續(xù)運轉的真空系統(tǒng)要定期補充工作介質,并且受到低溫介質供應條件的限制。

3.流程低溫泵

泵中低溫板冷卻管和制冷膨脹機相聯(lián)接,低溫介質(氣氦)通過外管路供給低溫泵,吸收低溫板熱量后再回到制冷壓縮機,形成封閉循環(huán),這種低溫泵的體積龐大、管路復雜、管路冷損較大。優(yōu)點是制冷功率大,適宜抽除大氣量或大型真空室,廣泛用于空間環(huán)模設備、受控熱核反應裝置、火箭發(fā)動機高空點火試驗以及低壓空氣動力學試驗等。

以上是常用的三種低溫泵類型,大家可以了解一下,根據(jù)需求購買合適的低溫泵,有不清楚的朋友歡迎我司。

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