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英國Cressington自動離子濺射儀108AUTO主要特性·自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導電噴鍍效果
英國Cressington 自動離子濺射儀108AUTO
主要特性
· 自動的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導電噴鍍效果。
· 通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
· 操作容易快捷,可全自動或手動進行噴鍍操作,控制的參數包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
· 在自動模式下,可通過兩種方式進行控制鍍膜過程??赏ㄟ^數字顯示器控制得到可重現的噴鍍效果,
· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達到設定膜厚時停止噴鍍過程。
· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動停止噴鍍過程。
· 數字化的噴鍍電流控制不受樣品室內氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
· 可使用多種金屬靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。
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