【半導(dǎo)體產(chǎn)品清洗超純水設(shè)備工藝】

預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18MΩ.CM）
 

【半導(dǎo)體產(chǎn)品清洗超純水設(shè)備特點(diǎn)】　

為滿足用戶需要，達(dá)到符合標(biāo)準(zhǔn)的水質(zhì)，盡可能地減少各級的污染，延長設(shè)備的使用壽命、降低操作人員的維護(hù)工作量.在工藝設(shè)計(jì)上，取達(dá)國家自來水標(biāo)準(zhǔn)的水為源水，再設(shè)有介質(zhì)過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床（EDI電除鹽系統(tǒng)）系統(tǒng)等。 系統(tǒng)中水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用*和客戶要求相統(tǒng)一的方法，使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較，具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。
 

【應(yīng)用場合】

1.半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
2.電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗；　　
3.電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液；　
4.顯像管和陰極射線管生產(chǎn)、配料用純水；　
5.黑白顯像管熒光屏生產(chǎn)、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水；　　
6.液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面需用純水清洗和用純水配液；　
7.晶體管生產(chǎn)中主要用于清洗硅片，另有少量用于藥液配制；　　
8.集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片；　
9.LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏；　　
10.高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)；　　
11.半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗；　　
12.超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料；　　
13.實(shí)驗(yàn)室和中試車間；　　
14.汽車、家電表面拋光處理；　　
15.光電產(chǎn)品、其他高科技精微產(chǎn)品。