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MKS/GE50A彈性密封數(shù)字型質(zhì)量流量控制器

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更新時(shí)間：2023-10-23 12:38:27瀏覽次數(shù)：154次

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產(chǎn)品簡介

GE50A彈性密封數(shù)字型質(zhì)量流量控制器多氣體，多量程，彈性體密封，5-50,000sccm的質(zhì)量流量控制器MKSG系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I/O

詳細(xì)介紹

GE50A彈性密封數(shù)字型質(zhì)量流量控制器

多氣體，多量程，彈性體密封，5-50,000 sccm的質(zhì)量流量控制器

MKS G系列GE50A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供RS485，Profibus™，EtherCAT®，PROFINET或DeviceNet™I / O。數(shù)字控制電子器件利用的MKS控制算法，可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生設(shè)定點(diǎn)精度的1％。

· 流量從5到50,000 sccm

· Viton，Buna，氯丁橡膠或Kalrez的密封件和閥塞選項(xiàng)

· 多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet™，Profibus®，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O

· 標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的0.1％

· 少于750毫秒的建立時(shí)間

技術(shù)指標(biāo)

類型	質(zhì)量流量控制器	跨度溫度系數(shù)	<0.08％的讀數(shù)/°C
控制范圍	滿量程的2％至100％	進(jìn)氣壓力系數(shù)	<讀數(shù)的0.02％/ psi
滿量程流量范圍	5-50,000 sccm	典型建立時(shí)間	<750毫秒，通常在滿量程的5％以上
密封材料	Viton，Buna-N，氯丁橡膠或Kalrez	熱身時(shí)間	30分鐘
模擬連接器	9引腳或15引腳D子級	工作溫度	10°C至50°C
入口壓力	150磅/平方英寸	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結(jié)
正常工作壓力差	10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid	貯存溫度	-20°至80°C
耐壓	1000磅/平方英寸	外部泄漏完整性	<1 x 10-09（scc / sec He）
爆破壓力	1500磅/平方英寸	封閉閥的泄漏完整性	在大氣壓力為40 psig時(shí)高達(dá)10K閥門
典型精度	20至100％滿量程的設(shè)定點(diǎn)的±1％，2至20％滿量程的設(shè)定點(diǎn)的±0.2％	濕材料	316L SS VAR，316 SS，Elgiloy®，鎳
重復(fù)性	讀數(shù)的±0.3％	表面處理	平均Ra 16µ英寸
解析度	滿量程的0.1％	重量	3磅（1.4公斤）
零溫度系數(shù)	<滿量程的0.05％/°C	合規(guī)	CE認(rèn)證

特征

多種數(shù)字和模擬接口選擇

GE50A數(shù)字控制MFC可提供模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用的MKS控制算法，可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對設(shè)定點(diǎn)提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。GE50A的模擬量和數(shù)字量I / O可以輕松替代1179A MFC的相同I / O類型。所有GE50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET®和EtherCAT®）。

標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積

GE50A利用MFC的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積，流量范圍為5sccm至50 slm，從而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。

所有金屬潤濕的表面

GE50A的設(shè)計(jì)采用了最少的彈性體。只有一個(gè)外部彈性體密封件和彈性體閥芯。否則，所有濕潤的表面都是金屬。GE50A標(biāo)配Viton®密封件以及Buna，Neoprene®，EPMD或Kalrez®的選件，允許該設(shè)備與需要以下替代品之一的氣體一起使用

設(shè)定值精度的百分比

附帶的數(shù)字校準(zhǔn)可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準(zhǔn)氣體提供1％的設(shè)定點(diǎn)精度。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制，相對于相對于滿量程的精度。當(dāng)質(zhì)量流量為滿刻度的2至20％時(shí)，精度為滿刻度的±0.2％。