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MPI半自動(dòng)晶圓級探針臺系統(tǒng)

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產(chǎn)品簡介

MPI半自動(dòng)晶圓級探針臺系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

TS3000-SE Probe System

S3000-SE是TS3000探針臺系統(tǒng)的升級開發(fā)，該系統(tǒng)配備了MPI ShielDEnvironment™，可實(shí)現(xiàn)超低噪聲，滿足設(shè)備的需求表征，晶圓級可靠性以及RF和mmW等多種應(yīng)用。優(yōu)勢：

適用于多種晶圓量測應(yīng)用
模塊量測 - DC-IV, DC-CV, Pulse-IV, ESD, 1/f，RTS
射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
可靠性測試 - 精確的壓力測試
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽環(huán)境
專為 EMI / RFI / Light-tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量境，以得到的 1/f 超低噪測試結(jié)果
支援 fA 級超低噪 IV 量測
專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設(shè)計(jì)的精密量測環(huán)境
可編程的顯微鏡滑臺實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化之簡便操作
溫度量測范圍 -60 °C to 300 °C

特點(diǎn)與優(yōu)勢

ShielDEnvironment™

MPI ShielDEnvironment™是一個(gè)高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可為超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境。

ShielDCap™

MPI ShielDEnvironment™允許多達(dá) 4個(gè)端口的RF或多達(dá)8個(gè)端口的DC / Kelvin或高功率等多種測試組合。

探針懸?？刂?/p>

MPI探針懸停控制PHC™允許輕松手動(dòng)控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計(jì)反饋精確控制，以實(shí)現(xiàn)探針到晶圓的精確定位。

快捷的晶圓裝載

雙前門通道和的卡盤設(shè)計(jì)使150、200、300mm晶圓，及微小器件的快速更換兩只陶瓷專用射頻校準(zhǔn)AUX卡盤位于前面，可以很方便地進(jìn)行裝卸。

集成硬件控制面板

智能硬件控制面板集成到探針系統(tǒng)中，并基于數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)和客戶互動(dòng)而設(shè)計(jì)，隱藏式的鍵盤、鼠標(biāo)增加整體美觀。

溫控系統(tǒng)

MPI和ERS共同設(shè)計(jì)了新型300 mm熱卡盤AirCool®PRIME 系列，具有的熱靈活性，可將變溫時(shí)間減少60％，減少轉(zhuǎn)換時(shí)間，改善電氣性能，在惰性氣體氣氛下進(jìn)行更輕松的測試以及現(xiàn)場可升級性是AirCool®PRIME熱卡盤系統(tǒng)的附加價(jià)值。便捷式的觸摸屏實(shí)時(shí)顯示卡盤溫度，該觸摸屏位于操作員前方的便利位置，以實(shí)現(xiàn)快速的操作和即時(shí)的反饋。

ERS的AC3冷卻技術(shù)

MPI旗下全系列探針臺系統(tǒng)均采用ERS的AC3冷卻技術(shù)和自我管理系統(tǒng)，可使用回收的冷卻空氣吹掃M(jìn)PI ShielDEnvironment™，與市場上的其他系統(tǒng)相比，可大幅減少30％至50％的空氣消耗。

安全測試管理（STM）系統(tǒng)

的STM系統(tǒng)可防止在測試過程中打開正門，以保證測試過程的安全，任何情況下都無法打開任何系統(tǒng)門。的智能露點(diǎn)控制程序可避免冷測試期間的積聚，系統(tǒng)自動(dòng)監(jiān)視CDA或氮?dú)獾牧髁俊Ｈ绻髁恐袛嗷蛄髁坎蛔?，則STM™會自動(dòng)將卡盤轉(zhuǎn)換為安全模式，迅速將卡盤加熱至露點(diǎn)以上。MPI STM™的功能是通過保持安全的測試環(huán)境，使TS3000-SE的測量更加安全，可靠和方便

儀器集成

可選的儀器架可縮短電纜長度，并提高 RF和mmW 應(yīng)用中的測量動(dòng)態(tài)性和方向性。

軟件套件SENTIO®

MPI自動(dòng)工程探針系統(tǒng)由且革命性的多點(diǎn)觸摸操作控制SENTIO®軟件套件，簡單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓(xùn)時(shí)間?！皾L動(dòng)"，“縮放"，“移動(dòng)"命令模仿了現(xiàn)代智能移動(dòng)設(shè)備，使每個(gè)人都可以在短短幾分鐘內(nèi)成為專家。在活動(dòng)應(yīng)用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。