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八帆儀器設備有限公司


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更新時間:2024-02-18 13:31:07瀏覽次數(shù):220次

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高分辨率校準標樣:綜述

Applied Nanotools為分辨率應用提供X射線,EUV和可見光顯微鏡的校準標準。 這些高質(zhì)量的光學元件包括各種校準元件,可在以下SEM圖像中看到:

ANT Design

ANT校準標準設計用于具有納米級特征的X射線成像系統(tǒng)的分辨率要求。適用于軟X射線和硬X射線機制以及光學設置。

Nested Ls

嵌套的Ls或彎頭允許高分辨率測量,保證間距和效率。在高分辨率標準下低至15 nm半間距。

Siemen star

該圖案允許校準和準確比較X射線與其他成像方法的光學分辨率。

NanoUSAF 1951

Applied Nanotool的定制設計NanoUSAF 1951基于USAF 1951設計,但具有納米而非微米的特征

價格列表

Device Base Price
 Ultra-High Resolution Soft X-Ray Calibration Standard (70 nm Au)

(15 nm half pitch)

USD $5000
 Soft X-Ray Calibration Standard (200 nm Au)

(20 nm half pitch or better)

USD $4500
 Hard X-Ray Calibration Standard (>600 nm Au)

(25 nm half-pitch or better)

USD $6000
Features Include:

     ? Nested L’s

     ? Siemen star patterns (large and small)

     ? Varying pitch gratings and meshe

     ? Nano USAF 1951

 
  Customization Extra Fee
     ? Custom Logo (Max 50 µm 2 area) $1000
     ? Low stress 50 nm silicon nitride membrane $2000
     ? Low stress 100 nm silicon carbide membrane $2500
     ? Fused Silica Substrate (~500 um thick)

Chrome metal on glass (positive tone-only)

$2500

Negative polarity (features transparent)

     ? 30 nm minimum feature size (soft X-ray)

     ? 50 nm minimum feature size (hard X-ray)

$1250
     ? Custom chip sizes Contact us

定制膜/基材

校準標準在標準的5 mm x 5 mm框架上于堅固的低應力氮化硅膜上制造。 熔融石英基板可用于具有鉻特征的光學顯微鏡。

 校準標準在標準的5 mm x 5 mm框架上于堅固的低應力氮化硅膜上制造。
 熔融石英基板可用于具有鉻特征的光學顯微鏡

定制設計

定制設計可添加具有高分辨率功能的設施徽標(建議最小元件尺寸為50 nm)。 必須以GDSII,EPS或矢量格式提供圖形以獲得分辨率。如果您需要有關徽標提交的幫助,請與我們聯(lián)系。
 高分辨率ANT徽標,20納米特征,電鍍至200納米

總體布局

 注:最終設計可能不如圖所示。

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