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上海卯林機電設(shè)備有限公司


dFFOZ水中臭氧傳感器

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更新時間:2023-01-28 11:49:08瀏覽次數(shù):330次

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產(chǎn)品簡介

IN USA品牌 Dffoz 采用的水中臭氧傳感器技術(shù),設(shè)計用來檢測半導(dǎo)體濕法處理和其他工業(yè)領(lǐng)域高濃度水中臭氧檢測。它可以為去離子水提供持續(xù)的臭氧測量,濃度高達150mg/L。Dffoz(溶解水中...

詳細介紹

IN USA品牌 Dffoz采用的水中臭氧傳感器技術(shù),設(shè)計用來檢測半導(dǎo)體濕法處理和其他工業(yè)領(lǐng)域高濃度水中臭氧檢測。它可以為去離子水提供持續(xù)的臭氧測量,濃度高達150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已經(jīng)完成”預(yù)備清潔”,可以應(yīng)用于高純度的半導(dǎo)體過程,在線安裝,流量高達150SLPM。
Dffoz傳感器結(jié)合料IN USA公司創(chuàng)新的雙路取樣傳感技術(shù)(獲得),達到了的性能和消除對參比氣測量的需要。
Dffoz典型安裝包括一個Dffoz傳感器和一個控制器(Mini-Sci或者SCI-Mux),并通過7層Teflon線纜連接。
產(chǎn)品特點:

n 紫外線吸收技術(shù)
n 雙光路測量原理
n 在線、全流量測量
n 無可移動部件
n 半導(dǎo)體級材料
n 緊湊FRPP外殼
n 一個控制器可接四個傳感器

技術(shù)指標:
傳感器:Dffoz-D
◆ 制造商: IN USA INC(美國)
◆ 應(yīng)用 :高濃度水中臭氧連續(xù)測量
◆ 測量原理 :紫外吸收技術(shù),雙光路取樣測量技術(shù)
◆ 紫外線光源:低壓汞燈
◆ 測量單位 :PPBw,mg/L
◆ 量程 : 可達到150mg/L
◆ 精度:0.5mg/L或讀數(shù)1%(取大者)
◆ 流量:高達150SLPM
◆ 壓力:55PSI
◆ 接口:1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口(其它接口可定制)
◆ 外殼:FRPP
◆ 焊接材料:PFA,Teflon,藍寶石,滿足半導(dǎo)體制程序要
◆ 尺寸:138 X 171 X 82mm
控制器:MiniSCI-N
◆ 20位背光LCD
◆ 分辨率:0.1mg/L或0.1ppm
◆ 循環(huán)時間:每隔0.5秒持續(xù)測量
◆ 模擬輸出:4-20mA或0-10VDC
◆ 數(shù)字 I/0:RS-232C
◆ 診斷:內(nèi)部診斷,報警提示
◆ 遠程自動校零:標準遠程自動校零功能
◆ 供電:90-240VAC 50/60Hz
◆ 尺寸:143X 71X 241mm
◆ 認證:CE

關(guān)鍵詞:臭氧傳感器 傳感器
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