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Tousimis B系列臨界點(diǎn)干燥儀

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更新時間：2022-11-22 16:48:40瀏覽次數(shù)：286次

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華納創(chuàng)新（北京）科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點(diǎn)：專為MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystem）制備而設(shè)計(jì)的臺式全自動臨界點(diǎn)干燥儀

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特點(diǎn)：

專為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制備而設(shè)計(jì)的臺式全自動臨界點(diǎn)干燥儀，防靜電無塵室適用
標(biāo)配不同尺寸晶圓架，每次可處理5個晶圓樣品
標(biāo)配樣品室內(nèi)環(huán)套裝，適配不同的樣品尺寸，減少LCO₂消耗，提高干燥效率
高效絕熱冷卻系統(tǒng)，可快速降溫并在充液、吹掃時自動保溫
SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO₂，消除靜電及吹掃噪音
內(nèi)置壓力控制模塊，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性
外置0.5μm的LCO₂過濾裝置，去除水、油和顆粒物
內(nèi)置吹掃后過濾器，可過濾LCO₂內(nèi)0.4μm以上雜質(zhì)
每個操作模式均有LED顯示，一目了然
樣品室設(shè)有照明燈及觀察窗，便于觀察樣品狀態(tài)
帶刻度的微型計(jì)量閥門控制LCO₂流量
微處理器控制，可全自動操作
操作參數(shù)可重復(fù)設(shè)定，確保結(jié)果可重復(fù)性
所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標(biāo)準(zhǔn)

B系列干燥儀參數(shù)對比：