漢鐘PS系列干式螺桿真空泵
漢鐘PS系列干式螺桿真空泵主要特點(diǎn):
漢鐘螺桿真空泵排氣路徑短,減少反應(yīng)物沉積
hanbell干式螺桿真空泵相較于其他形式的真空泵,因氣體于泵內(nèi)的傳輸路徑最短,最不易產(chǎn)生反應(yīng)物沉積的現(xiàn)象。
漢鐘螺桿真空泵線(xiàn)形密封性佳,泵浦性能
Hanbell干式螺桿真空泵,轉(zhuǎn)子密封線(xiàn)形,轉(zhuǎn)子密封性佳,轉(zhuǎn)子能以較大的嚙合間隙達(dá)到更快的抽氣效果,由于漢鐘真空泵的嚙合間隙較大,泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死,轉(zhuǎn)子也較不易因磨耗而需更換。
漢鐘螺桿真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,故障率低,維護(hù)容易
Hanbell干式螺桿真空泵因只需要利用一對(duì)轉(zhuǎn)子相互嚙合達(dá)到密封效果,結(jié)構(gòu)上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設(shè)計(jì),降低轉(zhuǎn)子與隔板沉積卡死的風(fēng)險(xiǎn)。且因其結(jié)構(gòu)單純,拆卸維修也比較容易,因此能縮短維修時(shí)程,降低維修費(fèi)用。
漢鐘螺桿真空泵微電腦操作,遠(yuǎn)端監(jiān)控,保護(hù)周全
Hanbell干式螺桿泵微電腦控制器提供真空最簡(jiǎn)易的操作方式并能顯示真空泵完整的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài),方便使用者對(duì)泵應(yīng)用狀態(tài)進(jìn)行調(diào)整,在真空泵產(chǎn)生問(wèn)題前進(jìn)行預(yù)防保養(yǎng)。遠(yuǎn)端監(jiān)控系統(tǒng)能夠提供使用者方便的監(jiān)控工具,使用者不需到現(xiàn)場(chǎng)就能夠了解真空泵的運(yùn)行狀態(tài)。
漢鐘螺桿真空泵典型應(yīng)用:
面板TFT-LCD, Touch Panel
太陽(yáng)能Solar
冶金系統(tǒng)Metallurgical System
鍍膜Coating
電漿制程Plasma processes
干燥處理Drying Process
制程氣體抽取Degassing
生技/制藥Biotech/Pharmaceutical
化工產(chǎn)業(yè)Chemical Industry
鋰電池Battery
機(jī)型Model | 單位Unit | PS80 | PS160 | PS180 |
抽氣速度 Pumping Speed (50Hz/60Hz) | l/min | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 |
m3/hr | 80/96 | 140/156 | 150/180 |
Cfm | 48/57 | 82/92 | 88/105 |
壓力 Ultimate Pressure | Torr | ≤7.5*10-3 |
mbar | ≤1*10-2 |
Pa | ≤1 |
馬達(dá) Motor | 頻率Frequency | Hz | 50/60 |
電壓Voltage | V | 220-440 |
額定功率 Rated Power | Hp | 4 | 6 | 6 |
| kW | 2.98 | 2.98 | 2.98 |
連接 Connection | 進(jìn)氣口Inlet | | NW50 |
排氣口Outlet | | NW40 |
冷卻水 Cooling Water | 流量Min. Flow | l/min | 3-7 |
溫度temperature | ℃ | 18-30 |
壓力Pressure | Mpa | 0.2-0.4 |
接頭Connection | | RC 3/8" |
氮?dú)?br /> N2 | 壓力Purge Pressure | MPa | 0.15-0.2 |
流量Purge Flow | Slm | 0-60 |
接頭Connection | | Swagelok 1/4" |
尺寸Dim. | 長(zhǎng)×寬×高L×W×H | mm | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 |
重量Weight | Kg | 450 | 300 | 320 |
噪音Noise | dB(A) | ≤68 | ≤70 | ≤70 |
系統(tǒng)漏率 System Max. Leak-rate | mbar.l/s | 1*10-5 |
室溫操作范圍Operation Temp. | ℃ | 5-40 |
操作濕度Operation Moisture | RH | 90%以上 |