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八帆儀器設備（上海）有限公司
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更新時間：2024-02-18 14:33:17瀏覽次數：252次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線NX20全自動大面積AFM
作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數據不能允許任何錯誤的存在。Park NX20，這款精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數據準確性，在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。
Park NX20具備無二的功能，可快速幫助客戶找到產品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數據，讓您能夠更加專注于工作。與此同時，真正非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。。
ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設計和自動界面，讓你在使用時無需花費大量的時間和精力，也不用為此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時且富有洞察力的失效分析報告。
樣品側壁三維結構測量
NX20的創(chuàng)新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所的。
對樣品和基片進行表面光潔度測量
表面光潔度測量是Park NX20的關鍵應用之一，能夠帶來精確的失效分析和質量保證。
QuickStep SCM
的掃描式電容顯微鏡
PinPoint AFM
無摩擦導電原子力顯微鏡
沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達到非常精準樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準。Park NX20在為您提供好的數據的同時也為您節(jié)省了寶貴的時間。
行業(yè)的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。
該自動化功能可大大減少掃描過程中人工移動樣品所需時間，從而縮短測試時間，提高生產率。
您只需滑動嵌入燕尾導軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設計可將鏡頭自動鎖定至預對準的位置，同時與復位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關性低的SLD，顯微鏡可精確成像并可準確測定力-距離曲線。
只需將可選模塊插入擴展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設計，其生產線設備兼容性得到大大提高
所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進行控制和處理。 該控制器是個全數字，24位高速控制器，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設計和高速處理單元，該控制器也是納米成像和精確電壓電流測量的選擇。嵌入式數字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方案，是高級研究員的。
XY和Z軸檢測器的24位信號分辨率
嵌入式數字信號處理功能
集成式信號端口
借助高強度壓電疊堆和撓性設計，標準Z軸掃描器的共振頻率高達9kHz(一般為10.5kHz）且探針的Z軸速率不低于48mm/秒。 Z軸掃描范圍可從標準的15 µm擴展至30 µm（可另選Z掃描頭）。
編碼器可用于所有自動樣品載臺，并可保證更高的重復定位精度，從而可更精確地控制樣品測量位置。XY馬達運動工作時分辨率為1 µm，重復率為2 µm。Z馬達運動的分辨率為0.1 µm，重復率為1 µm。
借助的鏡頭設計，用戶可從側面操作控樣品和探針。根據XY軸樣品臺所設定的行程范圍，用戶在樣品臺上可放置的樣品體積為直徑200 mm。
超長工作距離的定制物鏡（工作距離50mm, 數值孔徑0.21，分辨率1.0 μm ）帶來的鏡頭清晰度。直視同軸設計使得用戶可輕易在樣品表面尋找目標區(qū)域。EL20x的長行程物鏡的大尺寸CCD可為您在高視角前提下提供0.7 μm的高分辨率。
高度限行Z軸移動和聚焦系統(tǒng)，可以得到清晰的視野和圖像，用戶通過軟件界面進行操作，由高精度步進電機驅動，即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。
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