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3軸機械臂3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂

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更新時間：2024-06-19 09:15:06瀏覽次數(shù)：179次

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產品簡介

3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點：超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列適用于半導體生產設備內部

詳細介紹

3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點：

超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列

適用于半導體生產設備內部，檢測設備等的晶圓搬運

全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性價比優(yōu)勢

機械手臂標準臂長:160mm, 200mm

適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指

3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境	潔凈間內的大氣環(huán)境
手臂	單臂
到達距離	400mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)
升降軸行程	300mm / 400mm / 500mm
可搬運質量	4kg (手臂第3關節(jié)處基準)

如需詳細產品參數(shù) 請聯(lián)系我們

關鍵詞：檢測設備伺服電機監(jiān)視器

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