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行業(yè)產(chǎn)品

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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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3軸機械臂3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地上海

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更新時間：2024-06-19 09:15:06瀏覽次數(shù)：205次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：635條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點：超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部

詳細介紹

3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂特點： 

超潔凈無塵間用300mm晶圓對應MCR3000C系列

適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等的晶圓搬運

全軸采用AC伺服電機滿足高速搬送的需求

比MHR系列具有更好的性價比優(yōu)勢

機械手臂標準臂長:160mm, 200mm

適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式

手指材質：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質

可以針對被搬運物體種類，設備布局等要求提供的手指


3軸圓柱坐標潔凈晶圓搬運機械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境

潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達距離

400mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)

升降軸行程

300mm / 400mm / 500mm

可搬運質量

4kg (手臂第3關節(jié)處基準)




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