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4D 菲索型相移干涉儀 AccuFiz E高分辨型

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產(chǎn)品型號AccuFiz E

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2023-07-06 14:34:32瀏覽次數(shù):332次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹AccuFiz干涉儀,面世于2011年,是重點針對波前中高頻特征測量的高分辨菲索干涉儀,光學(xué)系統(tǒng)采用衍射極限設(shè)計,實現(xiàn)了高傳函,低噪聲;同時AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動態(tài)相移干涉技術(shù)上的成功經(jīng)驗,沿用其核心算法,采用動態(tài)載波相移技術(shù),可在氣流擾動和振動條件下實現(xiàn)高精度測量,這一技術(shù)使得AccuFiz可以解決大部分的動態(tài)測量問題

詳細介紹

產(chǎn)品介紹



AccuFiz干涉儀,面世于2011年,是重點針對波前中高頻特征測量的高分辨菲索干涉儀,光學(xué)系統(tǒng)采用衍射極限設(shè)計,實現(xiàn)了高傳函,低噪聲;同時AccuFiz干涉儀借鑒了4D公司在動態(tài)相移干涉技術(shù)上的成功經(jīng)驗,沿用其核心算法,采用動態(tài)載波相移技術(shù),可在氣流擾動和振動條件下實現(xiàn)高精度測量,這一技術(shù)使得AccuFiz可以解決大部分的動態(tài)測量問題。



AccuFiz干涉儀也是一款緊湊、輕巧的菲索干涉儀,可以滿足多樣的測量需求,是一款性價比很高的干涉儀。具有以下特點:

- 衍射極限光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計,提供高空間分辨率,可清晰看到樣品表面中高頻特征

- 動態(tài)載波相移技術(shù),實現(xiàn)在氣流擾動和振動條件下的高精度測量

- 可接短相干光源模塊,直接測量平行平面面形,可測大于300微米厚樣品



常規(guī)屬性



系統(tǒng)結(jié)構(gòu):菲索型干涉儀

采集模式:機械相移式,動態(tài)載波相移式

工作波段: 穩(wěn)頻He-Ne光源

可選:532nm、1053nm、1064nm、1550nm(SWIR)、3-5µm(MWIR)、µm(LWIR)

光 源:光源尺寸連續(xù)可調(diào),降低相干噪聲

可接入短相干光源、高功率光源

光束口徑:標準4英寸、6英寸;定制大口徑:12英寸、18英寸、24英寸

相機像素:1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels, 12bit

變倍:1-10X Smart ZoomTM

外形尺寸:4英寸: x x cm

6英寸: x x cm

重量:4英寸:;6英寸:


系統(tǒng)性能



條紋分辨率:相機:接近500對;6MP相機:接近1000對

空間頻率響應(yīng): ITF > ,@ 500 cyc/AP for MP 相機; 1000 cyc/AP for 6 MP 相機

RMS重復(fù)性:
RMS精密度: waves()RMS*

最小曝光時間:10µs

樣品反射率:1-99%(需衰減)



*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果;每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均

采用10個數(shù)據(jù),每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均;以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結(jié)果

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