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東莞市奧馬控制設(shè)備有限公司


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GF80 / GF81 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表

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更新時(shí)間:2023-10-27 12:58:56瀏覽次數(shù):299次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:6條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

流量范圍 – 滿量程容量 : GF80 : 3 sccm – 50 slm ; GF81 : 51-300 slm 精度 : GF80 : ±1% S.P. 35-99% , ±0.35% F.S. 2-35% ; GF81 : ±1% S.P. 35-99% , ±0.35% F.S. 5-35% 重復(fù)性 : GF80 : ±0.20% S.P.; GF81 : 0.15% S......

詳細(xì)介紹

對(duì)于許多工業(yè)和半導(dǎo)體加工過程,性能和成本效率同樣重要。GF80 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器擁有以下兩個(gè)特點(diǎn):設(shè)計(jì)采用與的 GF100 系列響應(yīng)速度相同的傳感器以及第四代 MultiFlo™ 技術(shù),該產(chǎn)品是高性價(jià)比運(yùn)營(yíng)的正確選擇。另外,金屬密封的 MFC 擁有 MultiFloTM 多氣體/多量程功能所帶來的全部?jī)?yōu)勢(shì),原因是可用氣體方面沒有限制并且由于不會(huì)發(fā)生彈性體氧滲透而提升了氣體純度,同時(shí)還由于金屬密封件有效期相當(dāng)長(zhǎng)而減少了維護(hù)工作量。

 

特點(diǎn)

* 長(zhǎng)期零點(diǎn)穩(wěn)定性,每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%

* 1 秒內(nèi)穩(wěn)定

* 滿量程流速高達(dá) 300 slpm

* 全金屬密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面處理

* 耐腐蝕 Hastelloy® 傳感器可在較低溫度下工作,適用于易發(fā)生熱分解的氣體

* 可編程 MultiFloTM 功能 - 一臺(tái)設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無需從氣路上拆 除 MFC 并且不影響精度

* 通過有源溫度補(bǔ)償實(shí)現(xiàn)的溫度系數(shù)規(guī)范

* 內(nèi)嵌式常規(guī)自檢功能和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口

* 帶有 VCR 配件的細(xì)線體設(shè)計(jì)

* DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模擬接口

 

優(yōu)勢(shì)

* 1 秒完成流量穩(wěn)定,消除廢氣和過程變量影響

* 未采用會(huì)發(fā)生氧滲透并且使用一定時(shí)間之后需要進(jìn)行更換的彈性體密封件

* MultiFloTM 精簡(jiǎn)了過程氣體切換操作無需再拆除并重新校準(zhǔn) MFC

* 60 秒內(nèi)即可完成新氣體和/或量程的設(shè)定操作

* 測(cè)量精度不受溫度變化影響

* 可輕松訪問診斷端口以實(shí)現(xiàn)運(yùn)行時(shí)間

* 規(guī)格緊湊,可輕松集成至緊張的設(shè)備空間內(nèi);設(shè)備改型的選擇

* 多協(xié)議通信接口可簡(jiǎn)化向現(xiàn)有系統(tǒng)的集成操作

 

應(yīng)用

* 對(duì)翻新后的半導(dǎo)體加工工具中的原有 MFC 進(jìn)行經(jīng)濟(jì)高效的改型/升級(jí)

* 減少六英寸/八英寸半導(dǎo)體工廠的 MFC 庫(kù)存

* 用于 LED 和功率器件生產(chǎn)的 MOCVD

* 太陽(yáng)能/薄膜化學(xué)氣相沉積 (CVD) 系統(tǒng)

* 分析用 OEM 設(shè)備

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