隨著手機(jī)行業(yè)的發(fā)展，3D屏及全面屏的攝像孔開始無限靠近弧邊，相應(yīng)的，透過波前的PV值也遠(yuǎn)大于之前的2D及2.5D屏。尤其是攝像孔邊緣區(qū)域（貼近弧邊）的干涉條紋會(huì)非常密集，超出上一代產(chǎn)品G10U-PH激光干涉儀（及行業(yè)內(nèi)主流的與G10相當(dāng)?shù)漠a(chǎn)品）的分辨極限，導(dǎo)致無法準(zhǔn)確測(cè)量。

詳細(xì)介紹

一、儀器規(guī)格參數(shù)

G5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測(cè)而定制，可以滿足條紋非常密集、超大像差（PV值非常大）狀況下的準(zhǔn)確測(cè)量。儀器采用進(jìn)口He-Ne激光器，并標(biāo)配氣浮減震平臺(tái)，在環(huán)境惡劣的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)亦可以保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試。

儀器規(guī)格參數(shù)表

硬件部分：

產(chǎn)品型號(hào)	G5U-PH
產(chǎn)品名稱	5mm正立式激光干涉儀
測(cè)試口徑	Φ5mm
輔助對(duì)準(zhǔn)口徑	Φ30mm
標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度	λ/20
光源	進(jìn)口He-Ne激光器（632.8nm)
光路切換	輔助觀察（Φ30mm大視場(chǎng)）與測(cè)試（Φ5mm小視場(chǎng)）模式電控切換
電源	AC220V50HZ
標(biāo)配配件	氣浮減震平臺(tái)

軟件部分：

軟件名稱	移相算法（簡稱PH）
分析項(xiàng)目	透過波前PV值、平行度Tilt值、ttv等
測(cè)試重復(fù)性	PV：0.01λ RMS:0.003λ
測(cè)試允許誤差	PV<1λ時(shí) PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋） 1λ 2λ
測(cè)試時(shí)間	1.5秒

二、儀器特點(diǎn)

1、可滿足超大像差的準(zhǔn)確檢測(cè)

G5U-PH便針對(duì)該特殊需求而設(shè)計(jì)，可以對(duì)超大像差實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確分辨及測(cè)試。

相同攝像孔在G5U及G10U干涉儀圖像對(duì)比

可準(zhǔn)確測(cè)量的像差，G5U-PH相對(duì)于G10U-PH的升級(jí)見下表：

	G10U-PH	G5U-PH
條紋數(shù)	20fr	40fr
PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值）	1λ	3λ

注：PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值）為背景調(diào)整為零條紋時(shí)，直接測(cè)量所得的PV值。

2、空腔調(diào)整零場(chǎng)精度高

在測(cè)試攝像小孔區(qū)域的平行度時(shí)，需要預(yù)先把空腔調(diào)整至接近零條紋。當(dāng)測(cè)試口徑為Φ5mm時(shí)，由于觀察視場(chǎng)非常小，調(diào)整零條紋的精度較低。為此，G5U-PH干涉儀引入輔助觀察模式，可以在Φ30mm的大視場(chǎng)下調(diào)節(jié)空腔的零場(chǎng)，保證零場(chǎng)調(diào)節(jié)精度。

3、光源為進(jìn)口He-Ne激光器（波長632.8nm）

He-Ne激光器相比半導(dǎo)體激光相比有如下優(yōu)點(diǎn)：相干性穩(wěn)定、優(yōu)良，干涉圖的對(duì)比度及清晰度更高，且壽命很長（一般可達(dá)到2萬小時(shí)以上）。半導(dǎo)體激光器隨溫度變化產(chǎn)生的溫飄會(huì)使干涉條紋的對(duì)比度、清晰度周期性變差，對(duì)數(shù)字化測(cè)量有很大影響；且壽命較短，易被靜電損傷。

4、標(biāo)配氣浮減震平臺(tái)

儀器標(biāo)配氣浮減震平臺(tái)，即使在環(huán)境惡劣的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)亦可以保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試。

5、后續(xù)可升級(jí)自動(dòng)化測(cè)試方案

儀器可通過串口與自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行通訊。且進(jìn)口He-Ne激光器與氣浮減震平臺(tái)的使用，使儀器可以在無人干預(yù)的情況下，保證穩(wěn)定、可靠的測(cè)試，后續(xù)可升級(jí)自動(dòng)化測(cè)試。

關(guān)鍵詞：激光干涉儀

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