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德國(guó)馬爾 MARSURF CD 280輪廓測(cè)量?jī)x

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更新時(shí)間:2023-05-29 15:19:34瀏覽次數(shù):341次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

新的MarSurfCD系列從Mahr設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn),當(dāng)涉及到輪廓測(cè)試

詳細(xì)介紹

新的MarSurfCD系列從Mahr設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn),當(dāng)涉及到輪廓測(cè)試。隨著新的MarSurf CD系列的推出,制造公司正在進(jìn)入一個(gè)新的維度,以可靠地保障和提高測(cè)量室或接近生產(chǎn)的工件的制造質(zhì)量。

新的測(cè)量站概念結(jié)合了速度、可靠性和靈活性。目的是提高公司系統(tǒng)的盈利能力。


創(chuàng)新技術(shù):

快軸

  • X的定位速度可達(dá)200毫米/秒
  • 比前輩MarSurf PCV和MarSurf CD 120快25倍
  • 這個(gè)系列的所有測(cè)量站都有一個(gè)全數(shù)控Z軸。
  • Z軸大約.比以前的Mahr Z軸快兩倍
  • 比市面上常見的X軸快5倍。

高動(dòng)態(tài)智能探測(cè)系統(tǒng)           

  • 基于集成芯片的探針臂識(shí)別
  • 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量范圍可達(dá)70毫米;帶490毫米探針臂的100毫米
  • 磁頭臂安裝,探針臂無工具更換
  • 該探測(cè)系統(tǒng)將魯棒性和動(dòng)力學(xué)相結(jié)合。
  • 可選:用于粗糙度評(píng)估的擴(kuò)展

創(chuàng)新工件夾緊系統(tǒng)
  • 安裝板390 x 430 mm,孔尺寸50 mm
  • 集成60毫米Ty平差
  • 安裝板與集成Ty調(diào)整的結(jié)合省去了增加XY工作臺(tái)的需求。
  • 工件設(shè)置過低導(dǎo)致測(cè)量電路短路,這對(duì)測(cè)量結(jié)果有積極的影響。
  • 技術(shù)數(shù)據(jù)
  • 應(yīng)用
  • 附件
  • 版本


 
MarSurf CD 280
MarSurf CD 140
測(cè)桿長(zhǎng)度
210毫米;350毫米;490毫米
210毫米;350毫米;490毫米
(測(cè)量速度(文本)
0.02-10毫米/秒
0.02-10毫米/秒
掃描長(zhǎng)度末尾(X方向)
280毫米
140毫米
分辨率
馬克斯。6nm(帶210毫米探針臂)
馬克斯。6nm(帶210毫米探針臂)
掃描長(zhǎng)度開始(X方向)
0.1毫米
0.1毫米
(定位速度(文本)
0.02-200毫米/秒(單位:X)
0.02-200毫米/秒(單位:X)
導(dǎo)塊偏差
0、35米/60毫米
0,4毫米/140毫米
0,75毫米/280毫米
0.35毫米/60毫米
0.4米/140毫米
測(cè)量范圍mm
70毫米(Z與350毫米探針臂)
馬克斯。100毫米(帶490毫米探針臂)
70毫米(Z與350毫米探針臂)
馬克斯。100毫米(帶490毫米探針臂)
測(cè)量力(N)
4 mN至30 mN,Z+和Z-,可通過軟件調(diào)節(jié)
4 mN至30 mN,Z+和Z-,可通過軟件調(diào)節(jié)

關(guān)鍵詞:芯片 工作臺(tái)
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