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掃描電子顯微鏡

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更新時(shí)間:2023-12-06 08:54:53瀏覽次數(shù):327次

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用于常規(guī)SEM掃描電鏡顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案蔡司EVO系列模塊化的SEM平臺(tái)適用于直觀操作、例行檢測(cè)和研究應(yīng)用EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起,同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶

詳細(xì)介紹

用于常規(guī)SEM掃描電鏡顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案


蔡司 EVO 系列

模塊化的 SEM 平臺(tái)適用于直觀操作、例行檢測(cè)和研究應(yīng)用

EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀的、友好的用戶界面體驗(yàn)結(jié)合在一起, 同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶以及新用戶。無(wú)論是在生命科學(xué), 材料科學(xué), 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域,憑借廣泛的可選配置, EVO 都可以根據(jù)您的要求量身定制。
  • 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的多功能解決方案
  • 不同的真空室大小和可滿足所有應(yīng)用要求的載物臺(tái)選項(xiàng)-甚至是大型工業(yè)零部件樣品
  • 使用LaB6燈絲,能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量
  • 對(duì)不導(dǎo)電和無(wú)導(dǎo)電涂層的樣品的成像和分析性能出色
  • 可以配置多種分析探測(cè)器用于滿足各種顯微分析應(yīng)用的需求

優(yōu)勢(shì)

SmartSEM Touch

便捷的可用性

SmartSEM Touch可以通過(guò)使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡(jiǎn)單易學(xué), 大大減少了培訓(xùn)所付出的努力和成本,甚至新用戶在幾分鐘內(nèi)也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶界面還支持需要自動(dòng)化工作流程以執(zhí)行可重復(fù)檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。

maximum data quality

優(yōu)異的圖像質(zhì)量

EVO 擅長(zhǎng)于對(duì)未經(jīng)處理和沒(méi)有導(dǎo)電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數(shù)據(jù)。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài), 維持含水和重污染樣品的數(shù)據(jù)質(zhì)量。此外當(dāng)成像和微量分析面臨挑戰(zhàn)時(shí),選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對(duì)比度和信噪比。

EVO can be configured to be part of a semi-automated multi-modal workflow

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

EVO可以作為半自動(dòng)、多模式工作流程的一部分,通過(guò)重新定位感興趣區(qū)域,并以多種方式收集數(shù)據(jù),形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來(lái)進(jìn)行材料表征或零件檢驗(yàn),或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián),進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

專(zhuān)家用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM

專(zhuān)家用戶可以獲取以及設(shè)定高級(jí)的成像參數(shù)和分析功能。

SmartSEM: 為有經(jīng)驗(yàn)用戶使用的控制界面

SmartSEM: 為有經(jīng)驗(yàn)用戶使用的控制界面

新手用戶
優(yōu)選用戶界面: SmartSEM Touch

新手用戶可以使用預(yù)定義的工作流程和常用的一些參數(shù)-非常適合初學(xué)者。

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運(yùn)行的簡(jiǎn)化圖形用戶界面

SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運(yùn)行的簡(jiǎn)化圖形用戶界面

EVO 能夠與其它設(shè)備相關(guān)聯(lián)

工作流程自動(dòng)化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數(shù)碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

由于蔡司是各種類(lèi)型顯微鏡和計(jì)量系統(tǒng)的優(yōu)秀供應(yīng)商, 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結(jié)合,使其功能能夠發(fā)揮得更好。

通過(guò)使用Shuttle & Find(蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分),您可以在(數(shù)碼)光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個(gè)高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學(xué)顯微鏡的光學(xué)對(duì)比方法與同樣的掃描電鏡成像和分析方法相結(jié)合, 獲得互補(bǔ)的數(shù)據(jù), 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機(jī)理。

蔡司 SmartEDX

用于常規(guī)SEM顯微分析應(yīng)用的一體化EDS解決方案

如果單采用SEM成像技術(shù)無(wú)法全面了解部件或樣品,研究人員就會(huì)借助能譜儀(EDS)來(lái)采集元素化學(xué)成份的空間分布信息。

ZEISS SmartEDX
  • 針對(duì)常規(guī)顯微分析應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化
 
SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過(guò)謹(jǐn)慎細(xì)致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規(guī)顯微分析應(yīng)用,尤其對(duì)于數(shù)據(jù)重復(fù)性要求高的客戶而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流(典型的EVO工作條件)下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過(guò)率, SmartEDX更適合于探測(cè)到來(lái)自輕元素的低能X射線。
Workflow-guided graphical user interface
  • 工作流程引導(dǎo)的圖形用戶界面
 
SmartEDX旨在提高多用戶環(huán)境中的易用性和工作流程重復(fù)性。與其他蔡司工作流程引導(dǎo)的軟件解決方案(如:SmartSEM Touch,ZEN core或EVO 的Shuttle&Find)一樣,SmartEDX軟件易于學(xué)習(xí),使用直觀,并有助于確保在SEM上執(zhí)行分析任務(wù)的重復(fù)性,尤其是在多個(gè)操作者使用該系統(tǒng)的環(huán)境中。
Total ZEISS service and system support
  • 的蔡司服務(wù)和系統(tǒng)支持

    SmartEDX由蔡司提供支持,因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡(jiǎn)分析設(shè)備供應(yīng)商數(shù)量的客戶。所有安裝、預(yù)防性維護(hù)、保修、診斷和維修、備件物流以及整個(gè)系統(tǒng)服務(wù)合同中的內(nèi)容均由蔡司全面負(fù)責(zé),為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。

EVO 系列

真空室尺寸選擇

 

蔡司EVO 10

蔡司EVO 15

蔡司EVO 25

 

 

選擇 EVO 10(可選配BSD和EDS)是您想以一個(gè)非常實(shí)惠的價(jià)格購(gòu)買(mǎi)掃描電子顯微鏡的切入點(diǎn)。即使這個(gè)EVO真空室很小,它也不同于臺(tái)式電鏡。您現(xiàn)在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來(lái)需要更多空間和端口的應(yīng)用做好了準(zhǔn)備。

 

EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念, 并擅長(zhǎng)于分析應(yīng)用。選擇 EVO 15 更大的真空室, 并增加對(duì)不導(dǎo)電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式, 你將有一個(gè)多功能多用途的顯微鏡設(shè)備或者工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗(yàn)室的解決方案。

EVO25 是工業(yè)的主力解決方案, 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件??蛇x的 80 mm Z 軸行程載物臺(tái)可進(jìn)一步擴(kuò)展 EVO 25的功能, 它可以處理重量高達(dá)2公斤的樣品甚至傾斜。此外, 大的真空室將能夠容納多個(gè)分析檢測(cè)器以滿足苛刻的微量分析應(yīng)用需求。

樣品高度

100 mm

145 mm

210 mm

樣品直徑

230 mm

250 mm

300 mm

電動(dòng)載物臺(tái)行程XYZ

 

80 x 100 x 35 mm

 

125 x 125 x 50 mm

130 x 130 x 50 (或 80) mm

高真空模式 (HV) 
導(dǎo)電樣品質(zhì)量的成像與分析
  •  
  •  
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可變壓力模式 (VP) 

不導(dǎo)電且不噴涂導(dǎo)電層樣品的高質(zhì)量成像和分析

  •  
  •  
  •  
擴(kuò)展壓力模式 (EP)
含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像
  •  
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  •  

蔡司 EVO 應(yīng)用案例

應(yīng)用實(shí)例

生產(chǎn)與裝配企業(yè)
  • 質(zhì)量分析/質(zhì)量控制

  • 失效分析/金相分析

  • 清潔度檢查

  • 顆粒的形態(tài)和化學(xué)分析, 以滿足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標(biāo)準(zhǔn)

  • 非金屬夾雜物的分析

                                           
鋅磷酸鹽電涂層, 高真空模式下使用 SE 探測(cè)器成像                                                    
                                                           

鋅磷酸鹽電涂層, 高真空模式下使用 SE 探測(cè)器成像

                                           
汽車(chē)座椅墊泡沫, 可變真空模式下使用BSE探測(cè)器成像,樣品未噴涂導(dǎo)電層。                                                    
                                                           

汽車(chē)座椅墊泡沫, 可變真空模式下使用BSE探測(cè)器成像,樣品未噴涂導(dǎo)電層

                                           
不銹鋼斷口表面, 高真空模式二次電子成像                                                    
                                                           

不銹鋼斷口表面, 高真空模式二次電子成像

電子半導(dǎo)體

  • 目視檢查電子元件、集成電路、MEMS 器件和太陽(yáng)能電池

  • 銅絲表面及晶體結(jié)構(gòu)的研究

  • 金屬腐蝕研究     

  • 斷面失效分析

  • Wire bonding線腳檢查

  • 電容表面成像

  •                                            
    Wire bond檢查,在高真空或可變真空模式下用二次電子成像                                                    
                                                               

    Wire bond檢查,在高真空或可變真空模式下用二次電子成像

                                               
    鎳層腐蝕的二次電子成像                                                    
                                                               

    鎳層腐蝕的二次電子成像

                                               
    二次電子圖像觀察的在電子產(chǎn)品上生長(zhǎng)的晶須                                                    
                                                               

    二次電子圖像觀察的在電子產(chǎn)品上生長(zhǎng)的晶須

     

  • 鋼鐵和其它金屬

  • 對(duì)金屬樣品和夾雜物的結(jié)構(gòu)、化學(xué)和結(jié)晶學(xué)進(jìn)行成像和分析

  • 相、顆粒、焊縫和失效分析

  •                                            
    鍍鋅低碳鋼的剖面, 使用 EVO 15 上的 二次電子探測(cè)器進(jìn)行成像                                                    
                                                               

    鍍鋅低碳鋼的剖面, 使用 EVO 15 上的二次電子探測(cè)器進(jìn)行成像

                                               
    用F80砂礫鋁粉噴砂后的S355鋼表面                                                    
                                                               

    用F80砂礫鋁粉噴砂后的S355鋼表面

                                               
    采用選擇性激光熔化的方法制備的鈦合金 (Ti-6Al-4V)的表面, 能夠看出充分熔化區(qū)域的旁邊有未融化的 Ti-6Al-4V 粒子和其他材料                                                    
                                                               

    采用選擇性激光熔化的方法制備的鈦合金 (Ti-6Al-4V)的表面, 能夠看出充分熔化區(qū)域的旁邊有未融化的 Ti-6Al-4V 粒子和其他材料

     
  • 材料科學(xué)研究

  • 用于研究導(dǎo)電和不導(dǎo)電材料樣品的特征

                                           
自愈合礦物的擴(kuò)展和裂紋架橋網(wǎng)絡(luò), 形成了類(lèi)似花狀的水鎂礦結(jié)構(gòu),在12kV下使用二次電子探測(cè)器成像                                                    
                                                           

自愈合礦物的擴(kuò)展和裂紋架橋網(wǎng)絡(luò), 形成了類(lèi)似花狀的水鎂礦結(jié)構(gòu),在12kV下使用二次電子探測(cè)器成像

                                           
電池組件中的石墨烯泡沫結(jié)構(gòu), 在高真空下使用 二次電子探測(cè)器成像                                                    
                                                           

電池組件中的石墨烯泡沫結(jié)構(gòu), 在高真空下使用 二次電子探測(cè)器成像

                                           
航空航天復(fù)合材料,在10 kV可變壓力模式下使用 C2D 探測(cè)器成像                                                    
                                                           

航空航天復(fù)合材料,在10 kV可變壓力模式下使用 C2D 探測(cè)器成像

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