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LH1000雙頻激光干涉儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式：張女士查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-03-03 13:24:40瀏覽次數(shù)：434次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：5條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張女士

產(chǎn)品簡介

光刻機(jī)專用雙頻激光干涉儀可構(gòu)建XY位移臺等多軸測量系統(tǒng)采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器無圓偏振光轉(zhuǎn)線偏振光非線性誤差大功率可同時測量更多數(shù)量的軸向位移大頻差，測量速度更快

詳細(xì)介紹

專為光刻機(jī)配套開發(fā)的高精度測量系統(tǒng)；

通過國家重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝"項(xiàng)目驗(yàn)收。

采用直接輸出線偏振光的雙頻激光器；

非線性高精密測量系統(tǒng)，測量更精準(zhǔn)；

可提供1~20MHz頻差內(nèi)任意頻差產(chǎn)品，滿足各種測量速度需要。

光源和測量信號接收單元分體式設(shè)計，方便搭建XY位移臺等多軸測量系統(tǒng)；

精巧的測量信號光纖接收頭，即使空間狹小也能方便安裝；

標(biāo)準(zhǔn)光刻機(jī)干涉儀安裝尺寸和數(shù)據(jù)接口，可直接替換現(xiàn)有產(chǎn)品。



型號

頻差(MHz)

最小出光功率(μW)

光斑尺寸(mm)

穩(wěn)頻精度(ppm)

LH1000A

1.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000B

2.0±0.5

> 500

6

±0.02

LH1000C

3.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000D

4.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000DL

5.0±0.5

> 500

6, 9

±0.02

LH1000EL

6.0±0.5

>500

6

±0.02

LH1000FL

7.0±0.5

>500

6, 9

±0.02

LH1000GL

8.0±0.5

> 500

9

±0.02

LH1000H

9.0±0.5

> 500

3, 6, 9

±0.02

LH1000I

10.0-20.0(按需定制)

> 500

3, 6, 9

±0.02

注：可根據(jù)需求定制更小頻差范圍。

微信截圖_20210616121113.png


懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實(shí)際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

LH1000雙頻激光干涉儀應(yīng)用于尼康光刻機(jī)后，其工作臺精度由原來的23nm提高到6nm！

圖片1.jpg


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