聯(lián)系電話
- 聯(lián)系人:
- 魚蛋小姐
- 電話:
- 手機(jī):
- 15766191432
- 地址:
- 和健云谷
- 個性化:
- www.jiuzhougyp.com
掃一掃訪問手機(jī)商鋪

微信掃碼進(jìn)入微名片
德國FITOK氣動隔膜閥DPT系列的產(chǎn)品介紹
簡介
飛托克 DPT 系列兩段式氣動隔膜閥專用于半導(dǎo)體行業(yè),其通過小流量和大流量之間的快速切換以緩和腔體內(nèi)壓力上升,用于防止流體急驟流入半導(dǎo)體制程機(jī)臺的腔體等內(nèi)部而造成微粒四處飛揚(yáng)污染腔體。相對于傳統(tǒng)的通過增加旁路管道來調(diào)節(jié)壓力的方式,兩段式氣動隔膜閥更節(jié)省空間和成本。
特征
1.可在小流量和大流量間快速切換
2.鈷合金隔膜強(qiáng)度高、耐腐蝕,使用壽命長
3.極少產(chǎn)生顆粒和死區(qū)
4.內(nèi)部無螺紋和彈簧
技術(shù)參數(shù)