DVIA-T使顯微鏡比以往更容易控制亞赫茲振動
DVIA-T將超精密儀器與1-10 Hz的環(huán)境振動隔離非常有效,振動敏感的精密儀器趨于不穩(wěn)定和破壞性,無法產(chǎn)生結果。 DVIA-T在0.6Hz時開始隔離,在10Hz時提供±99%的隔振。
克服了被動隔振系統(tǒng)的局限性
由于主動隔振系統(tǒng)不具備固有頻率,因此主動隔振系統(tǒng)可以降低1-10 Hz的低頻振動,其中低頻振動會嚴重干擾納米級成像。 另一方面,無源隔離系統(tǒng)由于其固有頻率而放大低頻振動。
超剛性
由于主動隔離系統(tǒng)比被動隔離系統(tǒng)硬得多,所以隔離基礎平臺不像被動隔離基礎平臺那樣波動。 主動隔離系統(tǒng)大大增加了位置的穩(wěn)定性,此外,剛度的改善提供了在平臺上設置各種應用的穩(wěn)定性。
這很簡單。 只需插入即可
DVIA-T旨在為各種應用提供強大的即插即用操作系統(tǒng)。 即插即用系統(tǒng)不需要復雜的安裝或日常維護,壓縮空氣供應。 而且,用戶可以按下按鈕來操作整個系統(tǒng)。
實時監(jiān)控
液晶顯示器允許用戶監(jiān)視實時振動水平和平整狀態(tài)。
反饋和前饋控制系統(tǒng)
DVIA系列使用反饋控制系統(tǒng)連續(xù)檢測干擾隔離有效負載基座的振動,并即時作出反應,限度地減少實時振動。 DVIA系列采用前饋系統(tǒng),以預定義的方式過濾地板振動
控制所有六個自由度的振動
安裝在主動隔振系統(tǒng)中的慣性傳感器和VCM執(zhí)行器通過三個平移運動(X,Y和Z)以及三個旋轉運動(俯仰,滾轉和偏航)來檢測和控制振動。
緊湊,便攜式設計
最小尺寸為420 mm×500 mm×93 mm,重量只有25kg,使用戶可以將隔離單元安裝在任何地方。
DAEIL的隔音罩消除了嚴重干擾超精密儀器的聲學噪音,例如AFM顯微鏡。 當DVIA-T與隔音罩一起封閉時,其隔振性能。
應用
原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡、光學顯微鏡、共聚焦顯微鏡、熒光顯微鏡、高分辨率顯微鏡、微操作、干涉、輪廓、超精密秤、超精密計量