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沈陽市司樂機器制造廠


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TX300勻膠機spincoater旋涂儀

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更新時間:2023-04-13 17:27:21瀏覽次數(shù):246次

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產(chǎn)品簡介

TX300勻膠機SpinCoater旋涂儀旋轉(zhuǎn)涂層機1.可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程

詳細介紹

TX300勻膠機Spin Coater 旋涂儀 旋轉(zhuǎn)涂層機
1. 可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程。
2. 每個涂敷工藝過程可以設(shè)置100步不同的速度狀態(tài);
運行過程可以暫停,重復啟動。
循環(huán)轉(zhuǎn)移:次數(shù):216次方= 65536次。
(用途:工藝過程重復部分的設(shè)定)
3. 可以控制加速度
4. 端跳 1mm的±2.5%
5. 32位工業(yè)計算機芯片組控制。
7英寸觸摸屏顯示,設(shè)定,控制。
產(chǎn)品簡介:TX300勻膠機spincoater旋涂儀
主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。
適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。
可在科研,教育,生產(chǎn)中應(yīng)用。
沈陽市司樂機器制造廠 自主設(shè)計制造
"spin coater " 行業(yè)稱:勻膠機 勻膠臺 甩膠機、旋涂儀 旋轉(zhuǎn)涂膜機 旋涂機
產(chǎn)品型號:
TX300勻膠機spincoater旋涂儀  
工作腔內(nèi)徑D300mm 適合直徑D10mm-280mm園片及 200mmX200mm方形片。
沈陽陽市司樂機器制造廠 自主設(shè)計制造
主要特點:
*高精度26程序控制器:
可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程;
每個涂敷工藝過程可以設(shè)置100步不同的速度狀態(tài);
加速度(及負加速度),可設(shè)置。
中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇。
操作系統(tǒng)內(nèi)駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調(diào)試并存儲程序。
設(shè)置程序:國際標準通用符號,人機交互式對話,提示操作。
無需培訓,上手就會操作。
*可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復定量滴膠。
精準的重復的自動控制操作,是人工不可能及的。
*工作腔可氮氣保護。
我們設(shè)備通過有效的惰性氣體保護機構(gòu)設(shè)計,對所有的環(huán)境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
這一點針對科研實驗的苛刻要求而開發(fā)。
*真空吸片,爪卡機構(gòu)。2種工作狀態(tài)隨意選擇。 爪卡機構(gòu)工作狀態(tài)無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
*中心結(jié)構(gòu)定位:圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。
主機標準配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
*卡盤,吸盤品種豐富,適應(yīng)各種需要。
*真空吸片系統(tǒng)更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度,必須在安全的真空度下,
電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統(tǒng)保護性停機。
*伺服電機,轉(zhuǎn)速精度更高:300 - 10000 轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:+ - 0.1 % 轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分
*設(shè)備所用的天然聚丙烯(NPP)材質(zhì),食品級衛(wèi)生材料,易清潔,材質(zhì)性能穩(wěn)定,綠色環(huán)保型實驗室的。
技術(shù)參數(shù):
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:200W
轉(zhuǎn)數(shù):300 - 10000 轉(zhuǎn)/分。
可設(shè)定時間:1---9999秒。
標準包裝:尺寸: 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高 ,
中心定位原理
中心定位
利用中心定位板,將基片在機器轉(zhuǎn)軸中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成勻膠。

關(guān)鍵詞:勻膠機 芯片 真空泵 傳感器
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