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北京中顯恒業(yè)儀器儀表有限公司
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全計算機控制的多功能離子減薄系統(tǒng)
全計算機控制的多功能離子減薄系統(tǒng),有高度的靈活性
主要特點:
減薄角度可調由0º至90º
一體化設計,重復性實驗設備,可靠具操作性
全電腦控制,精確的參數調整,運行中無需人干涉
鞍式離子槍,高能量-快速蝕刻
制冷系統(tǒng),銅傳導,確保TEM,SEM在低溫下操作
主機內置2級泵,確保高真空
減少裝卸時間,高效率
操作簡便直觀,帶自保護防止離子溢出與過熱功能
法拉力環(huán)檢查樣品是否穿孔,自動終止功能
裝載閘保持系統(tǒng)高真空度穩(wěn)定不變
減薄過程中離子能量高低可調
內置視頻監(jiān)視器,直接觀察樣品減薄情況
可編程,觸摸屏設計,直觀操作
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