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合肥科晶材料技術(shù)有限公司


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PPM級(jí)雙柱惰性氣體凈化器

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時(shí)間:2023-07-30 17:36:25瀏覽次數(shù):160次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào): PPM 產(chǎn)品概述: GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器(一個(gè)用于除氧另一個(gè)用于除水),兩個(gè)凈化器用1/4不銹鋼管和兩個(gè)針閥連接在一起,可以與任何科晶混氣系統(tǒng)連接。在室溫下,它將氣態(tài)雜質(zhì)降低到ppm級(jí)。它可......

詳細(xì)介紹

名稱

惰性氣體凈化系統(tǒng)-GPH-DHDO


產(chǎn)品特點(diǎn)

·輸入:輸入氣體純度要求:<1000>

·輸出:清除雜質(zhì)至<0.1 ppm(o2≤0.1="" ppm="">

·304L不銹鋼罐(<10 ra="">

·再生操作簡(jiǎn)單方便

·內(nèi)置數(shù)字溫度控制器和氣體流量計(jì)控制

·再生后可凈化多達(dá)80L惰性氣體

·設(shè)備需在270℃下再生(需使用5N純度的95%N2 + 5%H2氣體)


電源

·220v 50Hz

·功率:500W(加熱過(guò)程中)


壓力輸出

0.5MPa

工作溫度

室溫-300℃


氣體泄漏率

<2 x="" 10-9="" atm="" cc/sec="">

溫度控制器

控溫精度±1 oC


氣流

400mL/min

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。


特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。


點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書(shū)


使用提示

·您可以購(gòu)精密質(zhì)子流量計(jì),輸入氣體更加準(zhǔn)確圖一

·此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接(圖二)

     

    圖一                                 圖二



外形尺寸

445mm L X 400mm W X 190mm H

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