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Cryo-Plex 16 低溫泵/冷泵

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更新時間：2023-07-15 18:44:51瀏覽次數(shù)：203次

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上海馳艦半導(dǎo)體科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

Cryo-Plex 16 低溫泵/冷泵

詳細介紹

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Cryo-Plex 16 - Gas pumping speeds liters/second
Air	5,000
Water	16,000
Hydrogen	5,000
Argon	4,200
Gas capacities - standard liters @ 5x10-6 Torr
Hydrogen	15
Argon	2,500
Throughput
Argon sccm	500
Crossover
Torr-liters	300
Cool down time
60 Hertz	120 Min
Cryopump measurements
Height	24 "
Length	22.6"
Inlet flange	ISO/CVC