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中普尼實業(yè)集團(海南)有限公司
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CPN-KW-100A型智能勻膠機的智能化設計、高配置、高穩(wěn)定性機型
CPN-KW-100A型智能勻膠機
的智能化設計、高配置、高穩(wěn)定性機型。 PC 控制系統,更好的可操控性可編程設計。 5 英吋人機界面,全中文操作系統,更方便操作。 適合多種材料勻膠、制版工藝。 廣泛應用于微電子、光電子、通訊、微機械、 材料科學及新能源等領域。
主要構造:
1、采用無刷伺服電機,全閉環(huán)數字編碼器 測速機構,實測整個過程馬達速度。
2、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹 鋼、生銹,便于清洗。
3、排風和抽氣系統位于載片臺底部 (以 利于排風效率和勻膠均一性)。
4、透明可視密封蓋可以在旋涂作業(yè)時完 全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味 的散發(fā)。
5、配有真空泵電源輸出接口與抽氣接口, 由界面集中控制。 機箱采用不銹鋼材料(抗化學腐蝕易清 潔)
主要性能指標:
1、旋涂程序:用戶通過 PC 界面設置和存 儲工藝參數,可存儲 15 組參數,支持 多段速。
2、轉動速度:0-5,000rpm 旋涂加速度:0-5000rpm/sec 轉速穩(wěn)定度 ±1rpm
3、測速精度<0.2rpm 工藝時間設定: 09,999.9 sec/step 0.1 精度
4、可鍍膜尺寸 5mm-200mm(8〞) 旋涂不均勻性:< ±3% 支持基片厚度≤5mm
5、設備尺寸 15〞(380mm ) W × 11.4〞 (290mm ) D × 10〞 (260mm ) H 配置配置配置配置規(guī)格規(guī)格規(guī)格規(guī)格
6、勻膠腔室:內徑 Ф260mm ,不銹鋼材 質、可視透明上蓋
7、抽氣接口: Ф8mm 快速接頭,配 Ф8mm 透明抽氣管
8、樣片托:標配 1 英寸一個,2 英寸一個
9、真空泵:配 100L/min 無油真空泵一臺。
10、電源輸入: AC220V/240V 50Hz
11、整機功率:630W (真空泵 230W 主 機 400W)
12、機身重量:11Kg
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