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杭州力沃機(jī)電設(shè)備有限公司
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更新時間：2023-08-14 08:45:52瀏覽次數(shù)：322次
聯(lián)系我時，請告知來自 環(huán)保在線PMF干式螺桿真空泵系列介紹：半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機(jī)械泵無法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要
PMF干式螺桿真空泵系列介紹：
半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機(jī)械泵無法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動，干式真空泵于上世紀(jì)80年代出現(xiàn)，受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進(jìn)步，干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加，性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)顯著改善。截至目前，發(fā)達(dá)國家的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵，我國近年來也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢，國內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)已基本使用干式真空泵。
特點：
較低的電能消耗。 節(jié)能模式的應(yīng)用降低整體功耗。 體積小，重量輕。 節(jié)省了安裝空間 半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機(jī)械泵無法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動，干式真空泵于上世紀(jì)80年代出現(xiàn)，受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進(jìn)步，干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加，性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)顯著改善。截至目前，發(fā)達(dá)國家的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵，我國近年來也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢，國內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)已基本使用干式真空泵。
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