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更新時(shí)間：2023-08-20 18:21:32瀏覽次數(shù)：260次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線(xiàn)產(chǎn)品介紹對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等，進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕，保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性
產(chǎn)品介紹
對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等，進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕，保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。
產(chǎn)品參數(shù)
型 號(hào) | FRD-E30 | ||
等離子源系統(tǒng) | 頻 率 | 13.56MHz 射頻 | |
功 率 | 0~500W 可調(diào) | ||
真空系統(tǒng) | 真空腔體 | 材質(zhì) | 石英、航空鋁（選配） |
腔體內(nèi)部尺寸(MM) | 400*200*400 | ||
腔體容積 | 30L | ||
極板 | 1層 | ||
密封性 | 級(jí)焊接密封 | ||
泵 | 真空泵 | 干泵 | |
真空管路 | 不銹鋼管、不銹鋼波紋管 | ||
真空計(jì) | 薄膜硅 | ||
氣體流量計(jì) | ＜±1% FS | ||
氣路控制 | 2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào) | ||
極限真空 | 3Pa | ||
適用氣體 | 流量范圍 | 0-500SCCM（可調(diào)） | |
工藝氣體 | Ar、N?O?、H?等等（可選） | ||
控制系統(tǒng) | 1、PLC 自動(dòng)控制； | ||
2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面； | |||
3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99； | |||
4、多級(jí)權(quán)限操作； | |||
5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息； | |||
6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息； | |||
7、報(bào)警信息提示及追溯； | |||
8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)； | |||
9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換； | |||
10、維護(hù)提示緊急停止按鈕； | |||
11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖； | |||
12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示； | |||
13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示； | |||
外觀參數(shù) | 外形尺寸(MM) | 640*1700*840 (寬高深） | |
重 量 | 280KG | ||
設(shè)施配置 | 電 力 | 五線(xiàn)，三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。 | |
壓縮空氣 | 干燥壓縮空氣CDA。 | ||
其 它 | 提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單。 | ||
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)。
2、引進(jìn)德國(guó)核心等離子技術(shù)，質(zhì)量有保障。
3、進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì)，精度高。
4、材質(zhì)耐腐蝕，環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應(yīng)氣體通道，保證產(chǎn)品清洗效果。
6、可以根據(jù)客戶(hù)需求定制。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等，進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕，實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕，保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。
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