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MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡

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更新時間:2023-10-16 12:10:59瀏覽次數(shù):618次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品名稱:MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡產(chǎn)品描述詳細(xì)描述:儀器適用范圍:伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱:MA3000大平臺工業(yè)顯微鏡

產(chǎn)品描述

詳細(xì)描述:

儀器適用范圍:

伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,我國半導(dǎo)體圓晶生產(chǎn)已從較小的尺寸發(fā)展到現(xiàn)在的8英寸(200mm),MA3000就是為了適應(yīng)大芯片檢測而開發(fā)的新產(chǎn)品。MA3000配備反射照明光學(xué)系統(tǒng),反射式暗場和偏光系統(tǒng),使它可用在相同尺寸的半導(dǎo)體掩模板,液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗場合。

儀器特性:

  1. 200mmX200mm帶快速離合器大行程載物臺
  2. 視場數(shù)∮22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差物鏡
  3. 落射光明場、暗場及偏光可快速轉(zhuǎn)換
  4. 機(jī)架經(jīng)計算機(jī)《有限元》分析處理,有高穩(wěn)定性及抗振性
  5. 軸承鋼淬火后精密加工的滾柱導(dǎo)軌,使儀器具有穩(wěn)定的使用精度及高的可靠性
  6. 采用人機(jī)工程學(xué)的設(shè)計理念,調(diào)焦手輪前置,使之操作舒適。

高質(zhì)量的光學(xué)系統(tǒng),確保儀器在對各試樣檢驗時均能獲得良好的成像質(zhì)量。

無限遠(yuǎn)校正像差長距平場消色差物鏡

MA3000配用了本公司開發(fā)的視場數(shù) 22mm無限遠(yuǎn)校正像差超長工作距離平場消色差系列物鏡。對各種被檢測的試樣均能獲得優(yōu)良的成像質(zhì)量。物鏡的超長工作距離,可避免物鏡與試樣相碰而損傷試樣或物鏡

在反射照明光路中,明場、暗場和偏光可快速轉(zhuǎn)換

MA3000配有明場和暗場共用的物鏡,只要拉動拉桿,即可明場暗場轉(zhuǎn)換;只需插入或拉出起偏器和檢偏器,即可偏光轉(zhuǎn)換,操作十分方便。

采用完善的柯拉照明系統(tǒng)

MA3000采用完善的柯拉照明系統(tǒng),在整個視場內(nèi)照明均勻。

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