當(dāng)前位置：成都漢普升科技有限公司>>磁控濺射沉積>>成都廠家 Research桌面真空鍍膜機可定制

成都廠家 Research桌面真空鍍膜機可定制

返回列表頁

參考價: ￥ 1000000

訂貨量: ≥1 套

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地成都市

在線詢價收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：胡先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-11-17 13:53:51瀏覽次數(shù)：155次

聯(lián)系我時，請告知來自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  磁控濺射沉積

全部產(chǎn)品列表

  其他品牌

成都漢普升科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：32條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：胡先生（銷售）

詢價 給他留言

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)

成都真空設(shè)備廠家 Research桌面真空鍍膜機全封閉框架結(jié)構(gòu) 可定制

詳細介紹

1. 主體：全封閉框架結(jié)構(gòu)，真空室為前開門方式，機柜和主機為一體式機構(gòu)。采用優(yōu)質(zhì)0Cr18Ni9不銹鋼材料（SUS304），箱體尺寸為不小于φ350X400mm。設(shè)置DN100觀察窗口，位于真空腔體門正前方，骨架默認白色（或鋁合金本色），門板為白色，四只腳輪，可固定，可移動。室體、真空機組、磁控靶等有斷水報警鎖定安全裝置，能夠防止停水后出現(xiàn)安全隱患。

2. 真空系統(tǒng)：

2.1極限真空度：≤6.63×10－4Pa（空載、經(jīng)充分烘烤除氣并充干燥氮氣）。

2.2真空配置：高速直聯(lián)旋片泵一臺，抽速大于6L/S，超高分子泵一臺，抽速600L/s。

2.3真空測量：兩路電阻規(guī)，一路電離規(guī)；對真空室和真空管道分別精確監(jiān)控，帶數(shù)據(jù)通訊。

3. 工件架系統(tǒng)：單工位4英寸工件盤，工件盤可加熱至500攝氏度，工件架真空室底部安裝，便于更換基片，轉(zhuǎn)速3～30rpm。

4. 照明裝置：照明裝置1套。

5. 磁控濺射系統(tǒng)：配置2-3個Φ50mm磁控靶，安裝于真空室頂部，向下濺射成膜。

6.充氣系統(tǒng)：二路分別配置質(zhì)量流量控制器，分別為0-100SCCM 1只，0-200SCCM1只，準(zhǔn)確度±1% F.S，線性±0.5 % F.S，重復(fù)精度±0.2% F.S。

7.循環(huán)冷卻水路：配置冷水機組與空壓機。

8.電氣控制系統(tǒng)：采用功能化模塊設(shè)計方式，匹配西門子控制單元和MCGS人機界面，實現(xiàn)真空系統(tǒng)的自動控制，基本工作單元的控制，安全報警及故障信息顯示，并通過文字方式提示，軟件的功能和模塊可以根據(jù)實際需求進行單列或合并，但不得減少功能。