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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

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更新時(shí)間:2024-03-12 11:22:26瀏覽次數(shù):246次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達(dá)50mm,鍍膜厚度可達(dá)300,特別適用于SEM樣品表面的鍍膜

詳細(xì)介紹

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀, 可進(jìn)行金、鉑、銦、銀 等多種金屬的濺射鍍膜, 樣品直徑可達(dá) 50mm ,鍍膜厚度可達(dá) 300?, 特別適用于 SEM 樣品表面的鍍膜。 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài); 特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈, 可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現(xiàn) 象; 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用。 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀體積小,  操作簡(jiǎn)單,適合用于實(shí)驗(yàn)室中對(duì)小樣品的鍍膜使用。


產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)


4、工作臺(tái): 尺寸 600mm×600mm×700mm ,,承重 50kg 以上


5、通風(fēng)裝置:不需要

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。


2、通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電 離氣體,以獲得的鍍膜效果。


3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì),可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。


4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。


5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻





純凈。


6 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源: 220V


2、總功率: <2000W  (包括真空泵)


3、真空室: ?160mm×120mm


4 樣品臺(tái): ?50mm,且高度可調(diào), 可同時(shí)進(jìn)行 8 個(gè) SEM 樣品的鍍膜


5 、max 均勻鍍膜: ?45mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 400mm×300mm×400mm;重量: 30kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

金靶材

1 個(gè)

2

進(jìn)氣針閥

1 個(gè)

3

保險(xiǎn)絲

2 個(gè)

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材


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