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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司
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更新時(shí)間:2024-03-15 14:40:21瀏覽次數(shù):678次
聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線產(chǎn)品簡介:ME-L是一款科研級(jí)全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了科研團(tuán)隊(duì)在橢偏技術(shù)多年的投入,其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù),包括消色差補(bǔ)償器、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等
產(chǎn)品簡介: ME-L 是一款科研級(jí)全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了科研團(tuán)隊(duì)在橢偏技術(shù)多年的投入, 其采用行業(yè)前沿的創(chuàng)新技術(shù),包括消色差補(bǔ)償器、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等。可應(yīng)用 于半導(dǎo)體薄膜結(jié)構(gòu),半導(dǎo)體周期性納米結(jié)構(gòu),新材料,新物理現(xiàn)象研究,平板顯示,光伏太陽能,功能性 涂料,生物和化學(xué)工程,塊狀材料分析以及各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維 /二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析。
雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器(DRC)配置一次測量全部穆勒矩陣 16 個(gè)元素;配置自動(dòng)變角器、五維樣件控制平臺(tái)等優(yōu)質(zhì)硬 件模塊,軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì),易上手、操作便捷;豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保 證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力。
產(chǎn)品型號(hào) | ME-L 全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀 |
主要特點(diǎn) | 1、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍
2、可實(shí)現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理,測量信息量更大,測量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn) |
| 3、基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置, 可一次測量獲得全部穆勒矩陣的 16 個(gè)元素,相對(duì)傳統(tǒng)光譜 橢偏儀可獲取更加豐富全面的測量信息 |
| 4、頤光技術(shù)確保在寬光譜范圍內(nèi),提供優(yōu)質(zhì)穩(wěn)定的各波段光譜 |
| 5、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料
6、集成對(duì)納米光柵的分析 度等幾何形貌信息 |
技術(shù)參數(shù) | 1、應(yīng)用:科研級(jí)/企業(yè)級(jí) | |
| 2、基本功能: Psi/Delta、R/T、穆勒矩陣等光譜
3、分析光譜: 380-1000nm(支持?jǐn)U展至210-1650nm)
4、單次測量時(shí)間: 1-8s | |
| 5、重復(fù)性測量精度: 0.005nm | |
| 6、精度(直通測量空氣)
橢偏參數(shù): ψ=45±0.05°△=0±0.1°
穆勒矩陣:對(duì)角元素 m=1±0.005; 非對(duì)角元素 m=0±0.005 | |
| 7、光斑大?。?/span> 大光斑 2-3mm | |
可選配置 | 波段選擇 V:380-1000nm UV:245-1000nm XN:210-1650nm DN+:193-2500nm 角度選擇 自動(dòng):45-90° 手動(dòng):55-75°(5°步進(jìn)),90° 固定:65° 其他選擇 Mapping 選擇:100×100mm(供參考,按需定制) 溫控臺(tái):室溫一 600C(供參考,按需定制) | |
可選配件 | 1 | 溫控臺(tái) |
2 | Mapping 擴(kuò)展模塊 | |
3 | 真空泵 | |
4 | 透射吸附組件 |
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