濺射薄膜高溫壓力變送器，就是采用濺射薄膜壓力芯體，不銹鋼焊接封裝結(jié)構(gòu)，高穩(wěn)定性好、準(zhǔn)確度高、耐沖擊、抗振動(dòng)，主要用于高溫工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)和工程環(huán)境設(shè)備應(yīng)用。

濺射薄膜高溫壓力變送器的優(yōu)點(diǎn)是承受壓力高，可以工作在300MPa甚至可以更改高，，耐壓和破裂壓力高。相對(duì)同樣耐壓產(chǎn)品，具備更低成本優(yōu)勢(shì)。

濺射薄膜高溫壓力變送器，是采用離子束濺射和刻蝕技術(shù)，在不銹鋼彈性膜片上制作薄膜電阻構(gòu)成惠斯通電橋，流體壓力作用在不銹鋼彈性膜片上，使之產(chǎn)生形變，引起電阻值變化，電橋輸出與壓力成比例的電信號(hào)，通過(guò)一系列的信號(hào)處理和誤差修正，轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的電信號(hào)輸出，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力的測(cè)量。

濺射膜壓力傳感器制作中的一些關(guān)鍵技術(shù)包括：彈性膜片的材料及加工、濺射薄膜制備技術(shù)、光刻和激光調(diào)阻技術(shù)、產(chǎn)品穩(wěn)定性技術(shù)（包括彈性體應(yīng)力、薄膜內(nèi)應(yīng)力、產(chǎn)品裝配應(yīng)力提前加速去除、薄膜晶格及結(jié)構(gòu)缺陷穩(wěn)定性處理等），這些都是制濺射膜壓力傳感器大批量低成本生產(chǎn)的瓶頸。

應(yīng)用：

（1）：發(fā)動(dòng)機(jī)、采油機(jī)、熱電機(jī)組、汽輪機(jī)、水輪機(jī)、機(jī)車制動(dòng)系統(tǒng)。

（2）：油田油井儀器、油田測(cè)井儀器、井下儀器、井上平臺(tái)。

（3）：實(shí)驗(yàn)室壓力效驗(yàn)、流量調(diào)節(jié)系統(tǒng)、能源管理系統(tǒng)。

（4）：液壓機(jī)、試驗(yàn)機(jī)、起重機(jī)液壓系統(tǒng)、油缸油壓。