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廈門元航機(jī)械設(shè)備有限公司
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威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BPS 15000PSIS

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威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BPS 15000PSIS
根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底,敏感層為非硅材料,是當(dāng)前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對(duì)氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),因而要同時(shí)制作加熱元件和溫度探測(cè)元件,以監(jiān)測(cè)和控制溫度。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和

威創(chuàng)Viatran 壓力傳感器 5093BPS 15000PSIS憑著微機(jī)電在體積和功耗上的突破,新技術(shù)MEMS Drive類似一張貼在圖像傳感器背面的平面馬達(dá),帶動(dòng)圖像傳感器在三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸移動(dòng)。MEMS Drive 的防抖技術(shù)是透過陀螺儀感知拍照過程中的瞬間抖動(dòng),依靠精密算法,計(jì)算出馬達(dá)應(yīng)做的移動(dòng)幅度并做出快速補(bǔ)償。這一系列動(dòng)作都要在百分之一秒內(nèi)做完,你得到的圖像才不會(huì)因?yàn)槎秳?dòng)模糊掉。手機(jī)拍照帶給我們隨時(shí)隨地的便捷,但是面對(duì)復(fù)雜的環(huán)境、多樣的拍照?qǐng)鼍?,人手拍照有無法避免的抖動(dòng),像是走著跑著躺著拍照,或者把手伸長、手握自拍桿自拍,無論哪種抖動(dòng),憑借MEMS DRIVE馬達(dá)有的五軸防抖,和快速、精準(zhǔn)控制的技術(shù)優(yōu)勢(shì),都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖片

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1、微機(jī)械壓力傳感器

微機(jī)械壓力傳感器是最早開始研制的微機(jī)械產(chǎn)品,也是微機(jī)械技術(shù)中成熟、最早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號(hào)檢測(cè)方式來看,微機(jī)械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類,分別以體微機(jī)械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看,有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達(dá)0.05%~0.01%,年穩(wěn)定性達(dá)0.1%/F.S,溫度誤差為0.0002%,耐壓可達(dá)幾百兆帕,過壓保護(hù)范圍可達(dá)傳感器量程的20倍以上,并能進(jìn)行大范圍下的全溫補(bǔ)償?,F(xiàn)階段微機(jī)械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個(gè)方面。

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2、微加速度傳感器

硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個(gè)進(jìn)入市場(chǎng)的微機(jī)械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中具有吸引力的是力平衡加速度計(jì),其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報(bào)道的AGXL50型。

國內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作,如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學(xué)微電子所開發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵(lì)、壓阻電橋檢測(cè)的方式,其敏感結(jié)構(gòu)為高度對(duì)稱的4角支撐質(zhì)量塊形式,在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個(gè)諧振梁用于信號(hào)檢測(cè)。

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EMG對(duì)中光源發(fā)射器LID2-800.2C

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EMG電動(dòng)缸LLS 675/02

EMG 伺服閥 SV1-10/32/315-6

EMG 伺服閥 SV1-10/16/315/6    

EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6     

EMG 伺服閥 SV1-10/48/315/6   

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EMG 伺服閥 SV1-10/8/315/6

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EMG 伺服閥 SV1-10/48/315-6

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EMG 伺服閥 SV1-10/8/100-6

EMG 傳感器 KLW 300.012

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EMG 傳感器 KLW 225.012

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3、微機(jī)械陀螺

角速度一般是用陀螺儀來進(jìn)行測(cè)量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動(dòng)的物體具有保持其角動(dòng)量的特性來測(cè)量角速度的。這種陀螺儀的精度很高,但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,使用壽命短,成本高,一般僅用于導(dǎo)航方面,而難以在一般的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中應(yīng)用。實(shí)際上,如果不是受成本限制,角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機(jī)的穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)用儀器、軍事儀器、運(yùn)動(dòng)機(jī)械、計(jì)算機(jī)慣性鼠標(biāo)、軍事等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見的微機(jī)械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu),懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動(dòng)環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是,實(shí)現(xiàn)的微機(jī)械陀螺的精度還不到10°/h,離慣性導(dǎo)航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠(yuǎn)。

4、微流量傳感器

微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達(dá)到很低的測(cè)量量級(jí),而且死區(qū)容量小,響應(yīng)時(shí)間短,適合于微流體的精密測(cè)量和控制。國內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時(shí)間式)、機(jī)械式和諧振式3種。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計(jì)的閥片式微流量傳感器通過閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測(cè)出流量信號(hào)。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的氣體流量下,線性度優(yōu)于5%。

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