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BAG402 中真空至超高真空真空計

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更新時間：2024-03-11 15:27:00瀏覽次數(shù)：158次

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商鋪產(chǎn)品：6條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

BAG402 中真空至超高真空真空計 INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402，測量范圍從 5×10-10mbar 至 2.7×10-2mbar（3.75×10-10Torr 至 5×10-2Torr）。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可重復(fù)的工藝過程中進行基礎(chǔ)壓......

詳細(xì)介紹

益處

  • 測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
  • 出色的可重復(fù)性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內(nèi)為 5%
  • 過壓檢測保護，防止燈絲燒毀
  • 兩根長壽命氧化銥燈絲
  • 發(fā)射電流選擇，降低控制的繁瑣
  • 植入校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感器元件可確保規(guī)管的高精準(zhǔn)性，并且易于更換
  • 符合RoHS

典型應(yīng)用

  • 半導(dǎo)體工藝和傳送腔室的壓強測量
  • 工業(yè)鍍膜
  • 從低真空到超高真空范圍的普通真空測量及控制

規(guī)格

類型 BAG402
測量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2) 5×10-10 … 2.7×10-2
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
重復(fù)性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除氣 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
壓強, bar (absolute) 2
溫度  
操作 (環(huán)境) °C 0 … +50
儲存 °C -20 … +70
法蘭口的烘烤，不帶BPG402-S電子單元 °C 80
供電電壓 +20 … +28
輸出信號模擬 (4)  
輸出信號 V 0 … +10
測量范圍 log / lin V 0 … +9
電壓 vs. 壓強 volts per decade 1
錯誤信號 V > +10
負(fù)載阻抗, 最小 k? 10
第二模擬輸出 none
設(shè)點繼電器  
設(shè)定點數(shù)量 none
范圍  
繼電器觸點  
滯后  
觸點額定值  
數(shù)字功能 degas and emission
接口 (數(shù)字) (2) Diagnosis port
發(fā)射控制 manual
燈絲 two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
燈絲狀態(tài) / 繼電器 LED / relay
電氣連接 D-Sub, 9-pin, male
電纜長度，值 m (ft.) 100 (330)
暴露于真空中的材料 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內(nèi)部容積 KF / CF cm3 (in.3) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保護級別 IP30

1）除氣期間準(zhǔn)確性降低

2）不可同時使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和現(xiàn)場總線

BAG402 中真空至超高真空真空計     

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