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紫外光刻機(jī)

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參考價(jià): ￥ 300000

訂貨量: ≥1 臺

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號URE-2000/17/25/35/34AL

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地北京市

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更新時(shí)間：2024-04-09 09:38:32瀏覽次數(shù)：612次

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北京中科復(fù)華科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：12條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：陳經(jīng)理（銷售經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	國產(chǎn)

光刻機(jī)可廣泛用于MEMS和光電子，例如LED生產(chǎn)。它經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)，方便處理各種非標(biāo)準(zhǔn)基片

詳細(xì)介紹

1． 技術(shù)參數(shù)

l UV光源：進(jìn)口LED模塊

l 曝光中心波長：365nm

l 光源平行性：2o

l ★曝光分辨率：0.8um-1um

l 曝光能量密度：>35mW/cm2可調(diào)

l 照度不均勻性：≤2.5%(∮150mm范圍)

l ★曝光面積：160mm*160mm

l 光源壽命：2萬小時(shí)

l 曝光設(shè)定：定時(shí)

l 曝光頭工作模式：曝光位對準(zhǔn)位自動切換（前后移動）

l 套準(zhǔn)精度：±0.8-1 um

l 可執(zhí)行曝光模式：真空接觸、硬接觸、壓力接觸、接近式，

l 間隙設(shè)定方式：數(shù)字設(shè)定曝光間隙，自動分離和消除間隙

l 樣片、掩模版相對移動范圍：X: ±5mm， Y: ±5mm， θ=±6o

l 掩模版找平方式：球氣浮自動找平

l 可支持掩模版尺寸： 3″×3″、4″×4″、5″×5″、7″×7″ 各一件

l 標(biāo)配承片臺： 2英寸、3英寸、4英寸、6英寸

l 標(biāo)準(zhǔn)配件可兼容樣片厚度：0.1-6mm，其他尺寸可定制

l 可設(shè)計(jì)工作厚度：50mm

l ★雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡或者光學(xué)鏡頭+CCD+顯示器：可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍，物鏡三對：4倍、10倍、20倍，目鏡三對：10倍、16倍、20倍

l 雙物鏡可調(diào)距離范圍：30mm-120mm

l ★顯微掃描范圍：Y:±40mm（電動，數(shù)字設(shè)定）

設(shè)備尺寸：≤700mm

關(guān)鍵詞：顯微鏡顯示器