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行業(yè)產(chǎn)品

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深圳市夢啟半導體裝備有限公司


單工位減薄機

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號DL-GD3002A

品       牌

廠商性質生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：駱先生查看聯(lián)系方式

更新時間：2024-10-02 13:46:51瀏覽次數(shù)：160次

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經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：廣東深圳市

聯(lián)系人：駱先生 （運營）

產(chǎn)品簡介

單工位減薄機是單主軸、單工作臺，結構簡單緊湊的精密研削減薄機。適用于Φ300mm以下的硅晶圓、碳化硅、藍寶石、陶瓷、光學玻璃等硬脆性材料的精密研磨。

詳細介紹

設備優(yōu)勢

◎ 本機器采用晶圓自旋轉研磨法的原理為:如圖a 采用略大于晶圓的工件轉臺，工件通過真空吸盤夾持在工件轉臺的中心，磨輪邊緣調整到工件的中心位置，工件和砂輪繞各自的軸線回轉，進行切入減薄。砂輪與工件的接觸長度、接觸面積、切入角不變，研磨力恒定，加工狀態(tài)穩(wěn)定，可以避免工件出現(xiàn)中凸和塌邊現(xiàn)象。尤其對較薄的工件表現(xiàn)較為明顯。


◎ 研磨主軸均采用氣浮軸承結構，定子、轉子之間由于沒有機械軸承的摩擦力，磨損程度降到了，從而確保精度始終保持穩(wěn)定。


◎ 氣浮軸承阻力較低，允許較高的速度，并能同時保持較低的振動水平。


◎ 氣浮主軸精確的、可重復的運動，使得表面光度達到了非常出色的程度。由于硬度是由貫穿軸承的、始終如一的空氣流提供的，轉子所經(jīng)受的、來自外負載的作用力，在其旋轉時穩(wěn)定的分布在所有點上。這一特性與磨削時產(chǎn)生良好的表面光度息息相關。

性能參數(shù)
參數(shù)名稱單位DL-GD3002A
晶圓尺寸in?12'' (?4''/?6''/?8''/?12'')
研磨方式-晶圓旋轉進給磨削
砂輪直徑mm?300金剛石砂輪
主軸
額定功率
KW7.5/12.9
額定轉速RPM4000
磨削精度片間厚度變化
um≤±3
TTVum≤3
表面粗糙度Raum0.15（#2000）
設備尺寸（W x D x H）mm1150x1260x1950
設備重量KG約1600

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