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行業(yè)產(chǎn)品

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北京華林嘉業(yè)科技有限公司


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全自動GaN去光阻清洗機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:Henry查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-08-15 15:03:26瀏覽次數(shù):218次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:10條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:Henry (大區(qū)經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

生產(chǎn)主線為:上料臺、超聲循環(huán)溢流槽1、循環(huán)溢流槽2、循環(huán)溢流槽3、QDR槽4、QDR槽5、下料臺,共5個制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件,性能可靠,使用壽命長;及背部設(shè)有吸風(fēng)口,為防止污染空氣,用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機臺是一個人機界面(觸摸屏)加PLC控制的自動控制系統(tǒng),操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上,再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位,按照事先輸入的程序?qū)M(jìn)行各......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情:

項目

說明

機臺數(shù)量

1臺(套);

機臺重量

XX;

加工對象

藍(lán)寶石基底的GaN、砷化鎵基底的AlGaInP晶片和PSS襯底;

清洗能力(采購方提供cassette樣品)

4 inch   2 cassette / Batch  25 Pcs/cassette;6 inch     1 cassette / Batch  25   Pcs/cassette;

產(chǎn)能要求

濕法制程清洗工藝XXXX    Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小時/天,26天/月計算,預(yù)估值);

設(shè)備形式(潔凈度:千級潔凈室)

室內(nèi)放置型;  

機臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯磁白PP 10T();

阻燃聚丙烯PP 10T ();

米黃色聚氯乙烯PVC 10T ();

SUS304單鏡面板材1.5T(√); 

機臺視窗

材質(zhì)

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T (√);

SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃   5T(); 

模式

上下舉升式();

左右推拉式(√);

機臺主機強度結(jié)構(gòu)

整體SUS304不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架;

防漏盤

材質(zhì)

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分體式  每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm;

漏液檢測裝置

材質(zhì)

防腐材質(zhì);

點式

單點式;

其它

水平調(diào)整

通過地腳調(diào)整設(shè)備水平;

設(shè)備移動

設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用;

臺面板

材質(zhì)

¢12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   聚丙烯磁白PP板材();

¢12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   SUS304單鏡面板材(√);

相鄰槽之間須有接水板,接水板須傾斜放置,用以盛接花籃經(jīng)過時漏液();

模式

可拆式(√);

一體式();

排風(fēng)系統(tǒng)

排風(fēng)口位置

設(shè)備后頂部(√);

設(shè)備后下部();

設(shè)備后部();

排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)

1) 排風(fēng)強勁合理設(shè)計,為了排風(fēng)效果達(dá)到,排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板;

2) 為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量,操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機臺視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到使用效果;

3) 設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管,冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi);

機臺的電控系統(tǒng)

安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動操作復(fù)位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方,操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動維護(hù)、自動運行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護(hù)信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進(jìn)入權(quán)限設(shè)置:分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師,不可混用權(quán)限;

工藝記錄儲存類型

工業(yè)掃碼槍+PLC+觸摸屏

使用程序時刷條碼確認(rèn)程序,完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲,便于采購方對生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運行記錄可定時存儲,存儲數(shù)據(jù)類型參考如下:程序號、操作者、槽體溫度、設(shè)定時間、運行時間、報警信息等(待定)。PLC或觸摸屏具有USB接口,可讀出程序運行記錄;


規(guī)格特點:

01)工藝說明: 自動傳動,自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件,手臂按照菜單選擇流程作業(yè),生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè),這個過程全自動進(jìn)行;
02)全程自動化控制,工藝  過程中沒有人工干預(yù),保證產(chǎn)品性能的一致性;
03)搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá),閉環(huán)控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩(wěn);
04)搬運機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達(dá)電機自動過載保護(hù)等多重保護(hù),確保操作者的安全;
05)搬運機械手運行平穩(wěn),帶有過載和過流保護(hù),工藝槽發(fā)生異常報警需將工藝槽產(chǎn)品放置到溢流槽保護(hù)并立即啟動報警(手臂故障需要立即發(fā)出報警并不可消除);當(dāng)工裝出現(xiàn)意外情況時程序自動將藥液排空注入DIW稀釋救貨;
06)工藝槽設(shè)有花籃物理檢測裝置,防止壓籃;
07)溢流工藝的應(yīng)用,保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度;
08)優(yōu)化配管設(shè)置,節(jié)約DIW消耗量;
09)工藝柔性化設(shè)計,工藝更改方便迅速;多工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲;
10)整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等,需潤滑的零件必須密封處理;
11)整機采用PLC控制,觸摸屏顯示,清洗槽定溫控制,過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù);
12)整機采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便;
13)整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕,電器元件正常安全使用;
14)機臺設(shè)有緊急停止回路(EMO急停按鈕,設(shè)備兩端各一個),并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器;
15)整機前后區(qū)隔離,底板傾斜設(shè)計,便于排液,處設(shè)有漏液報警,前后區(qū)域均設(shè)水槍,確保漏液及時沖洗;
16)清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計,防止溶劑混用;
17)設(shè)計合理化的排風(fēng)管路,使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化;
18)設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部;
19)廢水按照高氟、低氟、酸堿、酸堿含醇四類排放;
20)設(shè)備內(nèi)廢氣總管路可用維護(hù)區(qū)水槍清洗,清洗廢液流入酸堿廢液總管;
21)工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式,需采用四面溢流;如果無法實現(xiàn),至少需要三面溢流;
22)搬運機械手抓驅(qū)動部分為電機馬達(dá)驅(qū)動完成動作并配有傳感器實時監(jiān)測,抓取部位設(shè)有防壓框傳感器,檢測抓取成功與否;
23)搬運機械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置(光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等),以保護(hù)操作人員安全;
24)工藝槽工作區(qū)域與機臺控制外配有安全監(jiān)測裝置,防止搬運機械手對操作人員的意外損傷;
25)  設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口;
26)  機臺上料下料區(qū)各配水***2把;
27)機臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置(帶信號報警裝置);
28)機臺總進(jìn)口處(N2或CDA)安裝有壓力監(jiān)測裝置(帶信號報警裝置);
29)工藝槽槽底傾斜式,便于排空;
30)根據(jù)工藝要求選擇配套UPS電源(15-20min);
31)  排風(fēng)調(diào)節(jié)板根據(jù)風(fēng)壓可自動調(diào)節(jié);

 

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