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行業(yè)產(chǎn)品

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北京華林嘉業(yè)科技有限公司


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全自動超薄片清洗機

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式:Henry查看聯(lián)系方式

更新時間:2022-08-15 15:09:09瀏覽次數(shù):277次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:10條

所在地區(qū):北京北京市

聯(lián)系人:Henry (大區(qū)經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

生產(chǎn)主線為:腐蝕槽1、沖水槽2、輕刻槽3、沖水槽4、上下料臺,共4個清洗工位。右進右出設(shè)備。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件,性能可靠,使用壽命長;及背部設(shè)有吸風(fēng)口,為防止污染空氣,用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機臺是一個人機界面(觸摸屏)加PLC控制的全自動控制系統(tǒng),操作者只須將清洗花籃放置于上下料工位上,再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位,按照事先輸入的程序?qū)M行各工藝處理。清洗能力......

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情:

項目

說明

機臺型號

CGB-WBXX-XXXX;

機臺數(shù)量

1臺(套);

機臺重量

XX;

清洗能力(采購方提供cassette樣品)

6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette; 片盒采購方提供;

圓片厚度范圍

6寸:150微米-300微米;8寸:150微米-300微米;

片架

6寸8寸為25片標(biāo)準(zhǔn)片架,8吋卡塞型號:192A型;

功能

本設(shè)備為全新設(shè)備,用于6吋和8吋超薄片硅腐蝕、HF處理、純水沖水;

產(chǎn)能要求

濕法制程清洗工藝XXXX    Pcs /月(按照30min/Run,50PCS/Run,22小時/天,26天/月計算,預(yù)估值);

設(shè)備形式(潔凈度:千級潔凈室)

室內(nèi)放置型   ;

機臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯磁白PP ();

阻燃聚丙烯PP();

阻燃米黃色聚氯乙烯PVC(√);

SUS304單鏡面板材(); 

機臺視窗

材質(zhì)

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC (√);

SUS304單鏡面板材及鋼化玻璃()   ;

模式

上下舉升式();

單(雙)門對開式();

左右推拉式(√);

機臺主機強度結(jié)構(gòu)

碳鋼結(jié)構(gòu)骨架;

防漏盤

材質(zhì)

聚丙烯磁白PP板材;

模式

分體式  每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm;

漏液檢測裝置

材質(zhì)

防腐材質(zhì);

點式

單點式;

其它

水平調(diào)整

通過地腳調(diào)整設(shè)備水平;

設(shè)備移動

設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用;

臺面板

材質(zhì)

¢12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   聚丙烯磁白PP板材();

¢12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   阻燃聚丙烯PP板材();

¢12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   阻燃米黃色聚氯乙烯PVC板材(√);

相鄰槽之間須有接水板,接水板須傾斜放置,用以盛接花籃經(jīng)過時漏液();

¢12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   SUS304單鏡面板材();

模式

可拆式(√);

一體式();

排風(fēng)系統(tǒng)

排風(fēng)口位置

設(shè)備后頂部(√);

設(shè)備后下部();

設(shè)備后部();

排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)

1.排風(fēng)強勁合理設(shè)計,為了排風(fēng)效果達(dá)到,排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板;

2.為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量,操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機臺視窗上的可調(diào)進氣模塊使用達(dá)到使用效果;

2.設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管,冷凝回流的廢液通過管道排放至機臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi);

機臺的電控系統(tǒng)

安裝在機體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。各槽體的工藝過程均由PLC、觸摸屏、溫控器、傳感器等組成。設(shè)備具有上電手動操作復(fù)位功能。每個機臺可存儲X套工藝配方,操作者可通過觸摸屏調(diào)用預(yù)先編制好的工藝配方。軟件系統(tǒng)具有工藝配方參數(shù)設(shè)定、手動維護、自動運行、狀態(tài)監(jiān)控等畫面。軟件具有報警信息、歷史記錄、維護信息等系統(tǒng)記錄。軟件系統(tǒng)具有3級加密進入權(quán)限設(shè)置:分別為設(shè)備作業(yè)員、設(shè)備工程師、工藝工程師,不可混用權(quán)限;

工藝記錄儲存類型

工業(yè)條碼槍+PLC+觸摸屏

使用程序時刷條碼確認(rèn)程序,完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲,便于采購方對生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運行記錄可定時存儲,存儲數(shù)據(jù)類型參考如下:程序號、操作者、槽體溫度、設(shè)定時間、運行時間、報警信息等(待定)。


規(guī)格特點:
01)工藝說明: 自動傳動,自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件,手臂按照菜單選擇流程作業(yè),生產(chǎn)部人員選取菜單進行作業(yè),這個過程全自動進行;
02)全程自動化控制,工藝過程中沒有人工干預(yù),保證產(chǎn)品性能的一致性;
03)搬運機械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá),閉環(huán)控制,定位精度≤1mm,可靠性高;采用雙導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動,幾何曲線加減速運動,沖擊小、運動平穩(wěn);
04)搬運機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達(dá)電機自動過載保護等多重保護,確保操作者的安全;
05)溢流工藝的應(yīng)用,保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度;
06)工藝柔性化設(shè)計,工藝更改方便迅速;多工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲;
07)整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等;
08)整機采用PLC控制,觸摸屏顯示,清洗槽定溫控制,過溫保護及超(兆)聲低液位保護;
09)整機采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便;
10)整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕,電器元件正常安全使用;
11)機臺設(shè)有緊急停止回路(EMO急停按鈕,設(shè)備兩端各一個),并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護斷路器;
12)整機前后區(qū)隔離,底板傾斜設(shè)計,便于排液,處設(shè)有漏液報警,前后區(qū)域均設(shè)水槍,確保漏液及時沖洗;
13)清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計,防止溶劑混用;
14)設(shè)計合理化的排風(fēng)管路,使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化;
15)設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部;
16)工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式,需采用四面溢流;如果無法實現(xiàn),至少需要三面溢流;
17)軟件具有防呆功能;
18)搬運機械手臂設(shè)有防夾防撞預(yù)警裝置(光電傳感器、機械傳感器、機械裝置等),以保護操作人員安全;
19)  設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護、維修的窗口;
20)  機臺上下料區(qū)配水***2把;
21)  機臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置(帶信號報警裝置);
22)  機臺總進口處(N2或CDA)安裝有壓力監(jiān)測裝置(帶信號報警裝置);
23)  工藝槽槽底傾斜式,便于排空;
24)  Cassette transfer time < 5sec;
25)  機臺電器部分具備正壓N2保護,防止腐蝕;
26)具有作業(yè)記錄功能,可以 USB 接口 U 盤調(diào)取,配置攝像頭,并配置硬盤用于視頻保存,視頻保留時間不少于 30 天;
27)兩個藥業(yè)槽工藝時間到后有聲光提示;
28)機臺地腳做防腐處理:1.噴防腐漆,2.增加PP防護盒;
29)供液系統(tǒng)人工換桶時防止廢液回流,加裝收集桶;
30)機臺具備漏液監(jiān)測功能,如發(fā)生漏液報警時自動關(guān)閉排液功能;
31)  Cassette搬運使用工裝方式;


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