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中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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更適合潔凈室內(nèi)使用的氣流可視化設(shè)備AVIS

時(shí)間:2025/3/26閱讀:188
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  日本Amenity公司的氣流可視化設(shè)備AVIS基于霧示蹤法,在潔凈室環(huán)境中具有以下顯著優(yōu)勢(shì):
 
  1. 無污染且兼容潔凈環(huán)境
 
  超純水霧化:采用超純水作為示蹤劑,無毒、無化學(xué)污染,符合潔凈室對(duì)材料純凈度的嚴(yán)苛要求,避免引入外來污染物。
 
  顆粒尺寸可控:生成的0.5μm霧氣顆粒是潔凈室標(biāo)準(zhǔn)粒徑,既能穩(wěn)定懸浮跟隨氣流,又不會(huì)因過大顆粒沉降造成設(shè)備或產(chǎn)品污染。
 
  2. 高精度氣流追蹤
 
  真實(shí)反映氣流動(dòng)態(tài):0.5μm顆粒具有極低的慣性,能精準(zhǔn)跟隨氣流運(yùn)動(dòng)(包括低速氣流),避免示蹤劑自身干擾測(cè)量結(jié)果,確??梢暬瘮?shù)據(jù)真實(shí)可靠。
 
  微小擾動(dòng)優(yōu)化:設(shè)備通過調(diào)節(jié)風(fēng)量和振蕩頻率,最小化霧氣噴射對(duì)原有氣流的影響,尤其適合對(duì)氣流穩(wěn)定性要求高的潔凈室環(huán)境。
 
  3. 直觀感染風(fēng)險(xiǎn)分析
 
  病原體傳播路徑模擬:霧氣顆粒的運(yùn)動(dòng)可直觀顯示氣流攜帶污染物的擴(kuò)散路徑,幫助識(shí)別交叉污染風(fēng)險(xiǎn)點(diǎn)(如手術(shù)室飛沫傳播、制藥車間微粒擴(kuò)散)。
 
  死角與湍流檢測(cè):通過可視化氣流停滯區(qū)或異常渦流,優(yōu)化潔凈室換氣次數(shù)(ACH)及高效過濾器(HEPA)布局,提升單向流(層流)效果。
 
  4. 實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)評(píng)估與驗(yàn)證
 
  無需復(fù)雜設(shè)備介入:直接目視或結(jié)合攝像記錄即可評(píng)估氣流組織,無需暫停潔凈室運(yùn)行,適合動(dòng)態(tài)驗(yàn)證壓差梯度或設(shè)備啟停時(shí)的氣流變化。
 
  兼容驗(yàn)證標(biāo)準(zhǔn):支持ISO 14644-3等潔凈室檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)氣流流型測(cè)試的要求,輔助驗(yàn)證單向流、非單向流性能。
 
  5. 操作靈活與安全性
 
  參數(shù)可調(diào)適配場(chǎng)景:通過調(diào)整霧量、顆粒大小(如降低頻率增大顆粒以觀察高速氣流),適應(yīng)不同潔凈等級(jí)(ISO 5級(jí)至8級(jí))的檢測(cè)需求。
 
  無安全隱患:超純水霧氣無導(dǎo)電性或腐蝕性,可在電子類潔凈室等敏感區(qū)域安全使用,區(qū)別于油基或固體顆粒示蹤劑。
 
  應(yīng)用場(chǎng)景示例
 
  手術(shù)室:可視化麻醉氣體泄漏路徑,優(yōu)化排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
 
  半導(dǎo)體車間:檢測(cè)光刻機(jī)周邊氣流擾動(dòng),防止微粒沉積晶圓。
 
  生物安全實(shí)驗(yàn)室:驗(yàn)證負(fù)壓環(huán)境下危險(xiǎn)氣溶膠的 containment 效果。
 
  綜上,AVIS設(shè)備通過無害化、高精度且直觀的可視化方案,成為潔凈室氣流優(yōu)化、感染控制及合規(guī)驗(yàn)證的高效工具。
 

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