日本DNK實(shí)驗(yàn)/研究用曝光機(jī)介紹
MA-1200，MA-1400
- 手動(dòng)批曝光機(jī)，用于實(shí)驗(yàn)和研究，支持玻璃，晶圓，膠片等。小批量生產(chǎn)的理想選擇。
- 支持z大500 mm x 500 mm的板。配備了光學(xué)系統(tǒng)，可根據(jù)應(yīng)用和板子尺寸將超高壓汞燈（500W，1kW，2kW，3.5kW）與各種鏡子，特殊透鏡，聚光鏡等??進(jìn)行z佳組合。
MA-1200A
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| | MA-1200 | MA-1400 |
| 板子尺寸 | z大200 x
200mmø4“?ø6” | 高達(dá)400 x 400mm |
| 光源 | 超高壓汞燈：500W或1kW | 超高壓汞燈：2kW或3.5kW |
| 尺寸及重量 | 車身尺寸 | 寬12x深1100 x高1725毫米 | 寬1440 x深1590 x高1882毫米 |
| 體重 | 400公斤 | 400kg（包括干凈的圍欄） |
| 光源重量 | -- | 250公斤 |
| 選項(xiàng) | 支持特殊的工作尺寸，例如干凈的圍欄，背面對(duì)準(zhǔn)，硬接觸（真空接觸類型），自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)，破裂的基板（需要咨詢） |
*我們接受有關(guān)板子尺寸，水銀燈瓦數(shù)和特殊規(guī)格的咨詢。
| | MA-1200A |
| 晶圓尺寸 | ø2“?ø6” |
| 光源 | 超高壓汞燈：500W或1kW |
| 尺寸及重量 | 車身尺寸 | 寬850 x厚1150 x高1665毫米 |
| 重量 | 400公斤 |
| 選項(xiàng) | 背面對(duì)齊，自動(dòng)對(duì)齊，開裂的板，條形碼讀取器和LOG存儲(chǔ)支持（需要咨詢） |
*我們接受有關(guān)特殊規(guī)格的咨詢，例如板子尺寸，水銀燈瓦數(shù)和UV-LED安裝。
