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秋山科技(東莞)有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第6年

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lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC 便攜式超聲波流量計(jì)

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訂  貨  量: ≥10000 臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地東莞市

更新時(shí)間:2024-03-24 12:42:22瀏覽次數(shù):1323次

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陳霞

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測(cè)量范圍 1m3/h 類型 超聲波
lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC
高溫質(zhì)量流量控制器,適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環(huán)境中。

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC

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高溫質(zhì)量流量控制器,適用于最大流量控制為120°C、斷電最高為150°C的環(huán)境中。

通過(guò)將高溫氣體接觸部分與熱敏基板部分分離,可以在高溫下控制氣體。

塊體采用SUS-316L,金作為密封材料,應(yīng)對(duì)腐蝕性氣體。

作為選項(xiàng),還可以選擇防止液化氣體再液化的低壓差規(guī)格和專用于加熱氣體接觸部分的MFC加熱器塊。

特點(diǎn)

  • 最高工作溫度最高120°C

  • 金屬密封件

  • 清潔(保證顆粒)

  • RS-485 通信

選擇

  • 兼容液化氣

  • 加熱塊

使用示例

液化氣、升華氣流量控制

CVD 和 ALD 的源氣體不一定是室溫和壓力下的氣體。 液體或固體原料通常在室溫和壓力下使用。 液體和固體在室溫下產(chǎn)生的氣體較少,因此很難使用MFC控制流量,MFC使用壓差來(lái)流動(dòng)氣體。 因此,MFC的工作壓力是通過(guò)加熱原料罐并增加蒸汽壓力以產(chǎn)生壓差來(lái)確保的。 MC-3000L-TC 能夠進(jìn)行高溫控制和低壓差工作壓力,是液化和升華氣體流量控制的理想選擇。

lintec高溫質(zhì)量流量控制器MC-3000L-TC

規(guī)格


溫度最小壓差最大壓差精度控制范圍低標(biāo)準(zhǔn)最高 F.S.密封
80~100°C50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLM
100~120°C
50kPa
300kPa±1%F.S.2~100%F.S.10SCCM25SLM








* 規(guī)格表為具有一般規(guī)格的質(zhì)量流量控制器。 可以通過(guò)選項(xiàng)進(jìn)行更改。



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